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龙图腾网恭喜山东硅瓷新材料有限公司申请的专利一种碳化硅悬臂桨板获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221747202U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323478493.3，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种碳化硅悬臂桨板是由王广强设计研发完成，并于2023-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种碳化硅悬臂桨板在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种碳化硅悬臂桨板，包括呈前后依次分布的固定区、过渡区以及承载区，所述承载区内壁设置有呈上下贯通的U型槽。本实用新型，通过在承载区设置U型槽，一方面可以减轻承载区自身的重量，另一方面可以减少承载区和硅晶圆片接触面积，从而避免承载区阻挡热量，同时，一体制作的两条承载臂其上表面可以保持在同一水平面，不会在运输过程中导致硅晶圆片掉落，设置的拉筋结构可以使得两条承载臂相互关联起来，大大提升承载力。

本实用新型一种碳化硅悬臂桨板在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅悬臂桨板，包括呈前后依次分布的固定区1、过渡区2以及承载区3，其特征在于：所述承载区3内壁设置有呈上下贯通的U型槽5，所述U型槽5与承载区3远离过渡区2的一端贯通，所述承载区3通过U型槽5形成两条承载臂且两条承载臂呈平行分布，两条所述承载臂截面形状均呈长方形且均为上下方向尺寸大于左右方向尺寸，两条所述承载臂内壁均设置有与承载区3后端贯通的矩形孔6，两条所述承载臂相对一侧均设置有长条孔7，所述长条孔7使得矩形孔6与外部贯通，所述长条孔7与承载区3后端贯通，两组所述长条孔7内侧下壁从前到后依次设置有多组卡槽8，多组所述卡槽8中呈左右相对的两组之间设置有用于固定两条承载臂以提高强度的拉筋结构。

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