买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜三星电子株式会社申请的专利利用具有补偿的光信号来执行掩模图案测量的系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110109322B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201811376093.2，技术领域涉及：G03F1/84；该发明授权利用具有补偿的光信号来执行掩模图案测量的系统和方法是由罗志勋;李东根;金熙范设计研发完成，并于2018-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本利用具有补偿的光信号来执行掩模图案测量的系统和方法在说明书摘要公布了：提供了一种利用具有补偿的光信号来执行掩模图案测量的系统和方法，所述系统包括：板，构造为用于在其上安装反射极紫外EUV掩模；以及波带片，构造为将EUV光分为零级光和第一级光，并构造为使零级光和第一级光传输到反射EUV掩模。系统还包括：检测器，构造为接收由反射EUV掩模反射的EUV光，并包括构造为产生第一图像信号的零级光检测区域和构造为产生第二图像信号的第一级光检测区域；以及计算器，构造为从第一图像信号和第二图像信号产生补偿的第三图像信号。第三图像信号可以用于确定反射EUV掩模的掩模图案之间的距离。

本发明授权利用具有补偿的光信号来执行掩模图案测量的系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种成像系统，所述成像系统包括：板，构造为用于在其上安装反射极紫外掩模；波带片，构造为将极紫外光分为零级光和第一级光，并构造为使零级光和第一级光传输到反射极紫外掩模；检测器，构造为接收被反射极紫外掩模反射的极紫外光，并包括构造为产生第一图像信号的零级光检测区域和构造为产生第二图像信号的第一级光检测区域，其中，零级光检测区域检测反射极紫外掩模的测量目标区域之外的区域反射的所述零级光，第一级光检测区域检测反射极紫外掩模的测量目标区域反射的所述第一级光；以及计算器，构造为利用第一图像信号补偿第二图像信号产生第三图像信号；确定器，构造为使用第三图像信号确定反射极紫外掩模上的第一掩模图案和第二掩模图案之间的距离。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人三星电子株式会社，其通讯地址为：韩国京畿道水原市；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。