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龙图腾网恭喜上海新微技术研发中心有限公司申请的专利具有安全装置的化学品喷液设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114446819B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011225642.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权具有安全装置的化学品喷液设备是由钟吉琛设计研发完成，并于2020-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有安全装置的化学品喷液设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种具有安全装置的化学品喷液设备，化学品喷液设备包括：处理器模块、模拟IO模块、电信号转气信号模块、流量控制阀门、喷嘴、流量计、常闭阀门及数字IO模块；常闭阀门连接于药液供应源与喷嘴之间的管路上，并通过数字IO模块连接处理器模块，常闭阀门未接受到开启信号时，处于常闭状态，当处理器模块给模拟IO模块发出喷液模拟信号的同时，给数字IO模块发出开启信号，使常闭阀门开启而实现药液流通。本发明的喷液系统中装设有常闭阀门，使得设备中即使此常闭阀门和流量控制阀门有一个出现内漏，药液也不会从喷嘴喷出，从而大大降低工艺隐患及安全隐患，大大提高了设备的安全性。

本发明授权具有安全装置的化学品喷液设备在权利要求书中公布了：1.一种具有安全装置的化学品喷液设备，其特征在于，所述化学品喷液设备包括：处理器模块、模拟IO模块、电信号转气信号模块、流量控制阀门、喷嘴、流量计、常闭阀门及数字IO模块；所述处理器模块用于将流量的数字信号转为喷液模拟信号并通过电信号转气信号模块向流量控制阀门发送气压信号，所述气压信号用于控制流量控制阀门的开度，从而决定药液流量的大小；所述模拟IO模块连接于所述处理器模块，用于处理器模块交互信号的接收、转换及发送；所述电信号转气信号模块连接于流量控制阀门，用于将接收的喷液模拟信号转换为气压信号；所述流量控制阀门连接于所述电信号转气信号模块，用于依据所述气压信号形成开度，所述开度决定药液流量的大小；所述喷嘴连接于所述流量控制阀门，用于喷射所述流量控制阀门的药液；所述流量计连接于药液供应源与所述流量控制阀门之间，并与所述模拟IO模块连接，用于测试所述流量控制阀门的流量，并将测得的流量模拟信号转为数字信号后与处理器模块中设定的流量值进行对比，根据两者相差的比例来调整处理器模块输出的模拟信号大小，最终使实际药液流量稳定到所述设定的流量值；所述常闭阀门连接于药液供应源与喷嘴之间的管路上，并通过所述数字IO模块连接所述处理器模块，所述常闭阀门未接受到开启信号时，处于常闭状态，当所述处理器模块给所述模拟IO模块发出喷液模拟信号的同时，给所述数字IO模块发出开启信号，使所述常闭阀门开启而实现药液流通；所述常闭阀门包括气动阀及电磁阀中的一种；当所述常闭阀门为气动阀时，所述化学品喷液设备还包括阀卡，所述气动阀连接于药液供应源与所述流量计之间，或所述气动阀连接于所述流量计与所述流量控制阀门之间，或所述气动阀连接于所述流量控制阀门与所述喷嘴之间；当所述常闭阀门为电磁阀时，所述电磁阀连接于药液供应源与所述流量计之间，或所述电磁阀连接于所述流量计与所述流量控制阀门之间，或所述电磁阀连接于所述流量控制阀门与所述喷嘴之间；所述药液供应源供应的药液包括氢氟酸、浓硫酸、浓盐酸、浓硝酸、氨水及双氧水中的一种或多种。

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