恭喜信越化学工业株式会社郡大佑获国家专利权
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龙图腾网恭喜信越化学工业株式会社申请的专利有机膜形成用材料、图案形成方法、以及聚合物获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112859516B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011354547.3,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权有机膜形成用材料、图案形成方法、以及聚合物是由郡大佑;中原贵佳;石绵健汰;山本靖之设计研发完成,并于2020-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本有机膜形成用材料、图案形成方法、以及聚合物在说明书摘要公布了:本发明涉及有机膜形成用材料、图案形成方法、以及聚合物。本发明的课题为提供成膜性优异并能展现高的蚀刻耐性、优异的扭曲耐性、填埋特性的有机膜材料、使用了该有机膜材料的图案形成方法、及适于如此的有机膜材料的聚合物。解决该课题的手段为一种有机膜形成用材料,是有机膜形成时使用的材料,其含有具有下列通式1表示的重复单元的聚合物、及有机溶剂。上述通式1中,AR1、AR2为也可以有取代基的苯环或萘环。W1为不具有芳香环的碳数2~20的2价有机基团,构成有机基团的亚甲基也可取代为氧原子或羰基。W2为至少具有1个以上的芳香环的碳数6~80的2价有机基团。
本发明授权有机膜形成用材料、图案形成方法、以及聚合物在权利要求书中公布了:1.一种有机膜形成用材料,是有机膜形成时使用的材料,其特征为含有具有下列通式1表示的重复单元的聚合物、及有机溶剂; 该通式1中,AR1、AR2为也可以有取代基的苯环或萘环;W1为不具有芳香环的碳数2~20的2价有机基团,构成有机基团的亚甲基也可取代为氧原子或羰基;W2为至少具有1个以上的芳香环的碳数6~80的2价有机基团。
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