恭喜上海芯物科技有限公司费跃获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海芯物科技有限公司申请的专利一种红外热电堆传感器、芯片及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113104804B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110389130.9,技术领域涉及:B81B7/02;该发明授权一种红外热电堆传感器、芯片及其制备方法是由费跃;焦继伟;刘京;陈思奇设计研发完成,并于2021-04-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种红外热电堆传感器、芯片及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明实施例公开了一种红外热电堆传感器、芯片及其制备方法,红外热电堆传感器包括多个红外热电堆像素,红外热电堆像素包括衬底。衬底包括第一区域和第二区域。位于衬底一侧且位于第一区域的第一悬空膜以及位于衬底一侧且位于第二区域的第二悬空膜。位于第一悬空膜远离衬底一侧的N型热电堆、P型热电堆和开关电路。开关电路位于N型热电堆和P型热电堆之间。位于第二悬空膜远离衬底一侧的悬臂梁和开关信号导出结构,开关信号导出结构与开关电路电连接。通过将开关电路设置在N型热电堆和P型热电堆之间,有利于减少红外热电堆传感器的面积,提高红外热电堆传感器的填充因子,进而提升其灵敏度,降低制造成本,实现小型化。
本发明授权一种红外热电堆传感器、芯片及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种红外热电堆传感器,其特征在于,包括多个红外热电堆像素,所述红外热电堆像素包括:衬底,所述衬底包括第一区域和第二区域,所述第二区域围绕所述第一区域;位于所述衬底一侧且位于所述第一区域的第一悬空膜以及位于所述衬底一侧且位于所述第二区域的第二悬空膜;位于所述第一悬空膜远离所述衬底一侧的热电堆结构和开关电路,所述热电堆结构包括N型热电堆和P型热电堆,所述开关电路位于所述N型热电堆和所述P型热电堆之间;位于所述第二悬空膜远离所述衬底一侧的悬臂梁和开关信号导出结构,所述开关信号导出结构与所述开关电路电连接。
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