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龙图腾网恭喜四川大学申请的专利一种新型压电式MEMS微振镜结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221884015U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-10-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420590315.5，技术领域涉及：G02B26/08；该实用新型一种新型压电式MEMS微振镜结构是由申强;李茂影;郭翔;唐雨桐;夏园林设计研发完成，并于2024-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种新型压电式MEMS微振镜结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及微镜芯片结构技术领域，且公开了一种新型压电式MEMS微振镜结构，包括外框，所述外框的内壁开设有环形槽。通过设置的外框、外环、内环、镜面、扭转梁、悬臂梁结构，利用压电驱动器对压电材料的输出电压的变化使得镜面在高速旋转的状态下进行角度调节作业，相较于现有的镜面结构作业范围更广，可实现测距精度小于1米，测角精度小于20毫弧度，水平扫描角度范围为±5°～±45°，竖直扫描角度范围±5°～±45°，采用非正交的扭转轴，可以有效提高微镜的谐振性能，减少同时输入两种信号可能带来的干扰情况，同时非正交扭转轴的微镜有助于微镜振动性能提高，从而提高扫描的清晰度和分辨率。

本实用新型一种新型压电式MEMS微振镜结构在权利要求书中公布了：1.一种新型压电式MEMS微振镜结构，包括外框1，其特征在于：所述外框1的内壁开设有环形槽8，所述环形槽8的内壁滑动连接有限位板10，所述限位板10的外壁固定装配有扭转梁6，所述扭转梁6远离外框1的一端固定装配有外环2，所述外环2的内壁开设有活动槽9，所述活动槽9的内壁滑动连接有悬臂梁7，所述悬臂梁7的外壁分别固定装配有内环3和镜面4，所述外框1的外壁固定装配有夹具5。

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