恭喜杭州康利维环保科技有限公司林朝韩获国家专利权
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龙图腾网恭喜杭州康利维环保科技有限公司申请的专利一种芯片制造外延炉混合废气处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221906472U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-10-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420870093.2，技术领域涉及：B01D53/78；该实用新型一种芯片制造外延炉混合废气处理装置是由林朝韩;骆骅;葛海泉;董晴云设计研发完成，并于2024-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种芯片制造外延炉混合废气处理装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种芯片制造外延炉混合废气处理装置，包括若干个外延炉、运输管和碱性喷淋塔，还包括：氧化单元，其固定连接在若干个外延炉和碱性喷淋塔之间，用于氧化外延炉产生的废气；其中，外延炉、碱性喷淋塔和氧化单元之间通过运输管连接；氧化单元包括若干个真空泵，其一端分别固定连接在各外延炉的废气排口处；缓冲罐，其固定连接在若干个真空泵另一端的合并端；燃烧组件，其固定连接在缓冲罐和碱性喷淋塔之间，在日常生产生活中，通过缓冲罐的设置，先将外延炉产生的废气排入到缓冲罐内进行稳压和稳流，使得废气具有被燃烧的条件，废气进入燃烧器进行氧化，燃烧后的尾气进入碱性喷淋塔进一步净化处理，提高废气处理效率。
本实用新型一种芯片制造外延炉混合废气处理装置在权利要求书中公布了：1.一种芯片制造外延炉混合废气处理装置，包括若干个外延炉1、运输管2和碱性喷淋塔3，其特征在于，还包括：氧化单元4，其固定连接在若干个所述外延炉1和碱性喷淋塔3之间，用于氧化外延炉1产生的废气；其中，所述外延炉1、碱性喷淋塔3和氧化单元4之间通过运输管2连接。
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