恭喜上海华力集成电路制造有限公司高金德获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海华力集成电路制造有限公司申请的专利一种洁净室用颗粒侦测结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221926037U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-10-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202322830553.7，技术领域涉及：G01N15/06；该实用新型一种洁净室用颗粒侦测结构是由高金德;陈蓉;徐菲斐设计研发完成，并于2023-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种洁净室用颗粒侦测结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种洁净室用颗粒侦测结构，包括采样探头和振动传感器，其中采样探头装于洁净室内的空气采样位置处以用于空气采样，且通过采样管路与颗粒计数器连接；振动传感器安装于采样探头或靠近采用探头位置处以用于振动的探测，振动传感器与洁净室的控制系统信号连接。本实用新型通过在采样探头或采样探头附近增设振动传感器，并记录其探测到的振动的时间，通过将振动时间与颗粒物超标时间进行比对，可有效排除或锁定一过性因素，可有效提高颗粒物排查的效率、降低排查难度，也一定程度上提高了颗粒物因素判断的准确性。
本实用新型一种洁净室用颗粒侦测结构在权利要求书中公布了：1.一种洁净室用颗粒侦测结构，其特征在于，包括：采样探头，其安装于洁净室内的空气采样位置处以用于空气采样，所述采样探头通过采样管路与颗粒计数器连接；振动传感器，其安装于所述采样探头或靠近所述采样探头位置处以用于振动的探测，所述振动传感器与洁净室的控制系统信号连接。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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