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恭喜三和技研股份有限公司萧擎宇获国家专利权

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龙图腾网恭喜三和技研股份有限公司申请的专利晶圆映射机构及包含其的晶圆装卸机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221927987U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-10-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420017547.1,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型晶圆映射机构及包含其的晶圆装卸机是由萧擎宇;王柏仁设计研发完成,并于2024-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。

晶圆映射机构及包含其的晶圆装卸机在说明书摘要公布了:本实用新型为一种晶圆映射机构,其用于整合在一晶圆装卸机loadport之中,且主要包括:一第一直线驱动模块、一第二直线驱动模块、一支架、以及设置在该支架上的多个传感器其中。其中,该第一直线驱动模块运转以带动该支架沿着一垂直方向进行向上移动或向下,且该第二直线驱动模块运转以带动该支架沿着一水平方向进行向前移动或向后移动,借此方式对容置于一晶圆载盒内的至少一晶圆进行一映像信息收集。

本实用新型晶圆映射机构及包含其的晶圆装卸机在权利要求书中公布了:1.一种晶圆映射机构,其特征在于,包括:一第一安装板;一第一直线驱动模块,连接至该第一安装板的一第一表面;一第二直线驱动模块,连接至该第一安装板的一第二表面,其中该第二表面与该第一表面彼此相对;一支架,连接该第二直线驱动模块;一第一发射器,安装在该支架之上;一第一接收器,安装在该支架之上,且与该第一发射器之间具有一第一间距;一第二发射器,安装在该支架之上;以及一第二接收器,安装在该支架之上,且与该第二发射器之间具有一第二间距;其中,该第一直线驱动模块运转以带动该第一安装板、该第二直线驱动模块与该支架沿着一第一方向进行顺向移动或反向移动;其中,该第二直线驱动模块运转以带动该支架沿着一第二方向进行顺向移动或反向移动,且该第二方向与该第一方向正交。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人三和技研股份有限公司,其通讯地址为:中国台湾新竹县芎林乡五龙村五和街228号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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