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龙图腾网恭喜苏州普瑞斯通智能科技有限公司申请的专利一种晶圆检验用显微镜吸附装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221926103U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-10-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420370348.9，技术领域涉及：G01N21/01；该实用新型一种晶圆检验用显微镜吸附装置是由沈军设计研发完成，并于2024-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆检验用显微镜吸附装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆检验技术领域，提出了一种晶圆检验用显微镜吸附装置，包括固定组件和样品台，所述样品台的两侧均焊接有支撑板，其中一个所述支撑板的一侧安装有控制面板，所述固定组件包括驱动电机，所述驱动电机安装在所述样品台的一侧，所述驱动电机的输出端通过联轴器固定连接有同轴设置的双头螺杆，通过抽气装置组和夹板等结构的设置，通过收缩型的空心收缩杆和实心收缩杆的使用可以实现对不同尺寸的晶圆自动夹持并定位，再通过抽气装置组的抽气效果实现进一步的夹持，并且可以对晶圆的表面起到一个清洁的作用，实现了更好的固定效果，通过上述技术方案，解决了现有技术中的固定效果差和检测精度低的问题。

本实用新型一种晶圆检验用显微镜吸附装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检验用显微镜吸附装置，其特征在于，包括固定组件5和样品台1，所述样品台1的两侧均焊接有支撑板2，其中一个所述支撑板2的一侧安装有控制面板23，所述固定组件5包括驱动电机6，所述驱动电机6安装在所述样品台1的一侧，所述驱动电机6的输出端通过联轴器固定连接有同轴设置的双头螺杆8，所述双头螺杆8转动安装在所述样品台1的内部，所述双头螺杆8外部两个相反的螺纹上均通过滚珠螺母装配有移动板7；两个所述移动板7的一侧均通过螺丝固定连接有夹板12，其中一个所述夹板12的内部滑动装配有若干阵列等距分布的实心收缩杆9，另一个所述夹板12的内部滑动装配有若干阵列等距分布的空心收缩杆10，另一个所述夹板12的顶部通过螺丝固定连接有分流口11，所述样品台1的内部通过螺丝固定连接有放置台4，所述样品台1的顶部通过螺丝固定连接有盖板3，所述样品台1的一侧安装有抽气装置组15，所述抽气装置组15的一侧安装有柔性软管14，所述柔性软管14的一端与另一个所述夹板12的一侧固定连接。

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