恭喜江苏优柯半导体科技有限公司莫文亮获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏优柯半导体科技有限公司申请的专利一种便于自动化控制的晶圆切割刀片打磨装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221911070U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-10-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420412965.0,技术领域涉及:B24B3/36;该实用新型一种便于自动化控制的晶圆切割刀片打磨装置是由莫文亮;姚伟设计研发完成,并于2024-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种便于自动化控制的晶圆切割刀片打磨装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于晶圆切割技术领域,具体涉及一种便于自动化控制的晶圆切割刀片打磨装置。本实用新型包括安装在切割设备上的打磨安装架和安装在打磨安装架上的至少一组打磨组件;打磨组件包括从下至上依次配合连接的磨刀底板、中间垫块、磨刀陶瓷块、磨刀吸盘以及磨刀石片;磨刀石片通过气动吸附在磨刀吸盘上。本实用新型将打磨装置安装在切割设备上,在不进行停止运行的情况下,可以直接移动晶圆切割刀片进行刀片的打磨,不需要对刀片进行拆卸,节省时间和人力;同时采用气动的磨刀吸盘对磨刀石片进行吸附固定,当需要更换磨刀石片时,只需要停止吸气即可,解决了现有技术中磨刀石片的固定无法自动化控制的问题。
本实用新型一种便于自动化控制的晶圆切割刀片打磨装置在权利要求书中公布了:1.一种便于自动化控制的晶圆切割刀片打磨装置,其特征在于:包括安装在切割设备3上的打磨安装架1和安装在所述打磨安装架1上的至少一组打磨组件2;所述打磨组件2包括:从下至上依次配合连接的磨刀底板21、中间垫块22、磨刀陶瓷块23、磨刀吸盘24以及磨刀石片25;所述磨刀底板21固定安装在所述打磨安装架1上,所述磨刀底板21、中间垫片、磨刀陶瓷块23以及磨刀吸盘24均固定连接;所述磨刀石片25通过气动吸附在所述磨刀吸盘24上。
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