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龙图腾网恭喜苏州光舵微纳科技股份有限公司申请的专利一种软膜替换及纳米压印一体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN108845479B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201810521566.7，技术领域涉及：G03F7/00；该发明授权一种软膜替换及纳米压印一体设备是由刘晓成;史晓华设计研发完成，并于2018-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种软膜替换及纳米压印一体设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种软膜替换及纳米压印一体设备，包括软膜复制工位；压印工位，若干个独立的压印工位用于进行纳米压印，压印工位与软膜复制工位之间设有载盘存放区、软膜存放区；层叠架，压印工位设为两排，层叠架与其中一排压印工位齐平，层叠架上具备晶圆存放区、废品软膜存放区；取料机械手，设置在两排平行的压印工位中间，取料机械手将软膜存放区上的软膜与载盘存放区上的载盘配合，并将配合后软膜及载盘送入压印工位，取料机械手将晶圆在压印工位、晶圆存放区之间转移，同时也将压印工位上的废品软膜转移至层叠架上的废品软膜存放区。采用此发明实现新旧软膜替换，设备成本低，各部件间布局合理，运作效率高，降低人员工作强度。

本发明授权一种软膜替换及纳米压印一体设备在权利要求书中公布了：1.一种软膜替换及纳米压印一体设备，其特征在于，包括：软膜复制工位；压印工位，若干个独立的压印工位用于进行纳米压印，所述压印工位与软膜复制工位之间设有载盘存放区、软膜存放区；层叠架，所述压印工位设为两排，所述层叠架与其中一排压印工位齐平，所述层叠架上具备晶圆存放区、废品软膜存放区；取料机械手，设置在两排平行的压印工位中间，所述取料机械手将软膜存放区上的软膜与载盘存放区上的载盘配合，并将配合后软膜及载盘送入压印工位，所述取料机械手将晶圆在压印工位、晶圆存放区之间转移，同时也将压印工位上的废品软膜转移至层叠架上的废品软膜存放区；其中，所述软膜复制工位由若干个独立矩形阵列的软膜复制工位构成，矩形阵列的软膜复制工位的中部设有脱膜机械手，所述脱膜机械手将软膜从软膜复制工位上脱离；所述取料机械手底部连接有水平往复平移机构，所述水平往复平移机构的运动方向与任意一排压印工位长度方向平行；所述载盘存放区连接有传送带，所述传送带运行方向与载盘存放区、软膜存放区的连线方向平行；所述软膜存放区位于水平往复平移机构与脱模机械手的连线上，所述传送带的长度方向与层叠架的长度方向垂直，所述层叠架与传送带之间不存在压印工位。

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