恭喜三星电子株式会社金光男获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜三星电子株式会社申请的专利基板支撑设备及具有基板支撑设备的等离子体处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110752133B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910639176.4，技术领域涉及：H01J37/02；该发明授权基板支撑设备及具有基板支撑设备的等离子体处理设备是由金光男;金成妍;金亨俊;宣钟宇;吴相录;洪定杓设计研发完成，并于2019-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板支撑设备及具有基板支撑设备的等离子体处理设备在说明书摘要公布了：本发明提供了基板支撑设备及具有基板支撑设备的等离子体处理设备。所述基板支撑设备包括：用于支撑基板的基板台，和沿着基板台的圆周的接地环组件。所述接地环组件包括：接地环体，所述接地环体具有沿着其圆周部分的多个凹陷；以及能移动以被容纳在所述多个凹陷中的相应的凹陷中的多个接地块，所述多个接地块包括用于电接地的导电材料。
本发明授权基板支撑设备及具有基板支撑设备的等离子体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种基板支撑设备，包括：用于支撑基板的基板台，所述基板台包括用于保持所述基板的下电极以及位于所述下电极下方的绝缘板；以及沿着所述基板台的圆周的接地环组件，所述接地环组件包括：接地环体，所述接地环体围绕所述绝缘板的圆周表面并且具有沿着所述接地环体的圆周部分的多个凹陷，所述多个凹陷是进入所述接地环体的背离所述绝缘板的所述圆周表面的缺口，以及能移动以被容纳在所述多个凹陷中的相应的凹陷中的多个接地块，所述多个接地块包括用于电接地的导电材料，其中，当所述多个接地块中的接地块被容纳在所述多个凹陷中的相应凹陷中时，使得所述接地块被容纳在所述相应的凹陷中的所述接地环体的部分在垂直方向上的接地路径变宽。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人三星电子株式会社，其通讯地址为：韩国京畿道；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号