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龙图腾网恭喜苏州盛拓半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆预对准用装载装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221960946U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420244536.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆预对准用装载装置是由陈庆生;王聪;赵相宰;陈康;霍旭坤;张克;王慧敏设计研发完成，并于2024-02-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆预对准用装载装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆预对准用装载装置，包括调节机构，所述调节机构可生成X轴向和Z轴向的线性自由度；所述线性自由度生成时，驱动旋转执行件沿水平面任意方向滑动；所述旋转执行件旋转驱动有吸附平台平行于所述水平面滑动，所述吸附平台上搭载有晶圆；本实用新型通过引入自适应防滑组件，本技术能够在对晶圆进行预对准时，有效地防止晶圆脱落或滑动，从而确保晶圆在加工过程中的精确对位和稳定传输。这有助于提高加工精度和产品质量。自适应防滑组件采用伸缩缸和弹簧件的组合设计，能够根据晶圆的实际位置和姿态进行自适应调整，确保缓冲件与晶圆之间的有效接触。

本实用新型一种晶圆预对准用装载装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆预对准用装载装置，其特征在于，包括调节机构5，所述调节机构5可生成X轴向和Z轴向的线性自由度；所述线性自由度生成时，驱动旋转执行件4沿水平面任意方向滑动；所述旋转执行件4旋转驱动有吸附平台3平行于所述水平面滑动，所述吸附平台3上搭载有晶圆；在所述吸附平台3之外以环形阵列的形式设有至少三个自适应防滑组件2；所述自适应防滑组件2通过对缓冲件206的加载和复位对所述晶圆执行防滑或送料；当所述晶圆与所述缓冲件206接触时，所述缓冲件206基于所述晶圆的接触方位执行自适应缓冲角度调节。

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