恭喜天芯电子科技(南京)有限公司赵子明获国家专利权
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龙图腾网恭喜天芯电子科技(南京)有限公司申请的专利MEMS WLCSP封装器件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221977939U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323382556.5,技术领域涉及:H01L25/16;该实用新型MEMS WLCSP封装器件是由赵子明;陈一杲;王春华;陈诚设计研发完成,并于2023-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS WLCSP封装器件在说明书摘要公布了:本实用新型涉及MEMSWLCSP封装器件。该MEMSWLCSP封装器件通过设计倒装MEMS芯片沿垂直方向堆叠在ASIC芯片的正面,通过两种芯片对接结构实现了MEMS芯片与ASIC芯片的连接。在不改变封装结构的面积下,该设计提高了芯片空间利用率,利于产品的高度的微型化;通过MEMS芯片倒装焊接在ASIC芯片的表面,使电性的传输速率增加,有利于产品的电性能提升;通过MEMS芯片直接连接在ASIC芯片的方式,在不改变设计结构下,减少了运行能耗,有利于产品的经济性;通过增高MEMS芯片焊接柱的厚度,使MEMS芯片背面增加了散热层,并使得MEMSWLCSP传感封装器件实现了双向散热,提升了散热性。
本实用新型MEMS WLCSP封装器件在权利要求书中公布了:1.MEMSWLCSP封装器件,包括MEMS芯片21以及ASIC芯片11,其特征在于:MEMS芯片沿垂直方向焊接在ASIC芯片的正面,包括MEMS芯片21、铜柱211、MEMS功能层212;铜柱211的底端生长于MEMS功能层212正面,铜柱211的顶端焊接在ASIC功能层111正面;MEMS功能层212形成于MEMS芯片21正面;ASIC功能层111形成于ASIC芯片11正面;树脂填充物31填充在MEMS功能层212正面;PI层112生长于ASIC功能层111正面,并留有焊接位113,用来与MEMS芯片21相连;焊接柱114生长于ASIC功能层111正面;焊球13焊接在焊接柱114的正面;ASIC芯片导热胶12粘合在ASIC芯片11的背面;MEMS芯片导热胶22粘合在MEMS芯片21的背面。
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