恭喜济南紫源电子有限公司鹿庆文获国家专利权
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龙图腾网恭喜济南紫源电子有限公司申请的专利一种硅片拿取装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221977903U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323473081.0,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种硅片拿取装置是由鹿庆文;仝建忠设计研发完成,并于2023-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片拿取装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种硅片拿取装置,包括清洗箱体,移动架的内侧通过转杆活动安装有夹取座,硅片夹取槽的内部活动设置有夹板,横向滑槽的内部固定设置有导向杆,导向杆的外部滑动套设有多个位移套座;本实用新型下料板上设置可移动的移动架结构,将夹取座活动设置在移动架的内部,下料夹取时,通过升降板带动硅片支板上固定的硅片上升,硅片支板上的硅片进入到硅片夹取槽内部,推动气缸可推动推动架进行移动,进而使得与推动架连接的位移套座在导向杆的导向下,带动位移套座一侧的夹板朝向硅片一侧运动,将硅片夹取槽内部的硅片通过夹板进行固定限位,这样可一次性夹取多组硅片,不需要反复进行夹取,硅片夹取更加高效。
本实用新型一种硅片拿取装置在权利要求书中公布了:1.一种硅片拿取装置,包括清洗箱体1、升降板2、硅片支板3、移动架5、夹取座7、夹板10和位移套座15,其特征在于,所述清洗箱体1的顶部边侧设置有下料板4,所述下料板4的顶部活动设置有移动架5,所述移动架5的内侧活动设置有转杆6,所述移动架5的内侧通过转杆6活动安装有夹取座7,所述夹取座7的内部开设有多个硅片夹取槽8,所述硅片夹取槽8的内部活动设置有夹板10,所述夹取座7的边侧开设有横向滑槽12,所述横向滑槽12的内部固定设置有导向杆17,所述导向杆17的外部滑动套设有多个位移套座15,所述位移套座15的一侧固定连接有安装座18,所述安装座18的内部开设有安装槽,所述夹板10的一端固定在安装槽的内部。
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