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龙图腾网恭喜苏州市翌科斯拓机电科技有限公司申请的专利摆臂装置及晶圆清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221977906U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420603336.6，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型摆臂装置及晶圆清洗设备是由唐广秋设计研发完成，并于2024-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本摆臂装置及晶圆清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及机械设备技术领域，公开了一种摆臂装置及晶圆清洗设备。摆臂装置包括支撑平台、摆臂机构和支撑机构，其中，摆臂机构安装于支撑平台，摆臂机构包括升降旋转臂和升降旋转轴，升降旋转臂和升降旋转轴转动连接，升降旋转轴为中空结构；支撑机构包括支撑外壳和支撑组件，支撑外壳套设于升降旋转轴的外侧，并安装于支撑平台，支撑组件包括至少三个支撑件，至少三个支撑件均匀设置于支撑外壳的周向并与升降旋转轴滚动连接；旋转升降机构安装于支撑平台并与摆臂机构相连接，用于带动摆臂机构进行升降和旋转。该摆臂装置避免了升降旋转轴发生倾斜，实现与整机其他机构的灵活配置、升降位置可任意调节并达到实时检测的目的。

本实用新型摆臂装置及晶圆清洗设备在权利要求书中公布了：1.摆臂装置，包括支撑平台1，其特征在于，还包括：摆臂机构2，安装于所述支撑平台1，包括升降旋转臂21和升降旋转轴22，所述升降旋转臂21和升降旋转轴22转动连接，所述升降旋转轴22为中空结构；支撑机构3，所述支撑机构3包括支撑外壳31和支撑组件32，所述支撑外壳31套设于所述升降旋转轴22的外侧，并安装于所述支撑平台1，所述支撑组件32包括至少三个支撑件321，至少三个所述支撑件321均匀设置于所述支撑外壳31的周向并与所述升降旋转轴22滚动连接；旋转升降机构，安装于所述支撑平台1并与所述摆臂机构2相连接，用于带动所述摆臂机构2进行升降和旋转。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州市翌科斯拓机电科技有限公司，其通讯地址为：215100 江苏省苏州市相城区黄桥街道西木巷街169号A幢一楼103室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。