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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利用于改善控制加热和冷却基板的设备与方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN108615674B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201810245337.7，技术领域涉及：H01L21/263；该发明授权用于改善控制加热和冷却基板的设备与方法是由布莱克·R·凯尔梅尔;诺曼·L·塔姆;约瑟夫·M·拉内什设计研发完成，并于2010-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于改善控制加热和冷却基板的设备与方法在说明书摘要公布了：描述了用于处理基板与控制基板的加热与冷却的方法及设备。提供第一波长范围内的辐射的辐射源在预定温度范围内加热基板，所述基板可吸收在所述第一波长范围内和所述预定温度范围内的第二波长范围内的辐射。滤片防止至少一部分的第二波长范围内的辐射到达所述基板。

本发明授权用于改善控制加热和冷却基板的设备与方法在权利要求书中公布了：1.一种用于在快速热处理腔室中处理基板的方法，所述方法包括以下步骤：在预定温度范围内，用产生第一波长范围内的辐射的加热源快速加热所述基板，所述基板能吸收在所述第一波长范围内和所述预定温度范围内的第二波长范围内的辐射；以及过滤来自所述加热源的辐射，使得至少一部分的所述第二波长范围内的所述辐射不被所述基板所吸收并将被所述基板吸收的用于加热所述基板的辐射波长限制到低于1000nm，以与未阻挡所述第二波长范围内的所述辐射被所述基板吸收时相比提供更线性的基板加热，其中所述加热源包括数盏灯并且所述第二波长范围是基于所述基板的组成以及所述加热源的发射峰值而选择的，以与未执行所述过滤步骤时相比提供更加改善的加热所述基板的可预测性，所述加热源的发射峰值以及加热所述基板的可预测性为施加至所述数盏灯的能量的函数，并且其中所述第二波长的下限大于在基板加热期间所述加热源的峰值发射波长。

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