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龙图腾网恭喜矽电半导体设备(深圳)股份有限公司申请的专利一种载片台测试模块获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221995850U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420012841.3，技术领域涉及：H05K7/20；该实用新型一种载片台测试模块是由曾凡贵设计研发完成，并于2024-01-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种载片台测试模块在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种载片台测试模块，包括循环盘、绝缘盘和发热模块，循环盘内部设置有循环气道，循环气道连接进气口和排气口，绝缘盘设置于循环盘的上方，承片台设置于绝缘盘的上方，发热模块设置在循环盘的下方，发热模块能够通电产生热量。本申请提出的一种载片台测试模块，冷却气体进入循环气道循环流动后能够使循环盘降温，循环盘的温度可以通过绝缘盘传递至承片台，以使测试工件快速降温，发热模块能够通电加热，加热产生的热量能够通过循环盘和绝缘盘传递至承片台，以使测试工件快速加热，载片台测试模块集成了加热和降温功能，集成度高，还能实现高温状态和低温状态之间快速切换。

本实用新型一种载片台测试模块在权利要求书中公布了：1.一种载片台测试模块，其特征在于，包括：循环盘300，内部设置有循环气道310，所述循环气道310一端连接进气口320，另一端连接排气口330，所述进气口和所述排气口位于所述循环盘的侧部；绝缘盘200，设置于所述循环盘300的上方，所述绝缘盘200的上方设置有承片台100；发热模块400，设置于循环盘300的下方，所述发热模块400能够产生热量，并通过所述循环盘300和所述绝缘盘200将热量传递至所述承片台100；其中，冷却气体能够从所述进气口320进入所述循环气道310对所述循环盘300进行冷却降温，循环后的冷却气体从所述排气口330排出，从而实现载片台快速冷却，所述发热模块400能够产生热量经过所述循环盘300和所述绝缘盘200至所述承片台100，从而实现所述载片台快速加热。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人矽电半导体设备(深圳)股份有限公司，其通讯地址为：518172 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。