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龙图腾网恭喜深圳市辰中科技有限公司申请的专利一种光刻胶供应系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221993767U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323558469.0，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种光刻胶供应系统是由陈卫军;欧阳增图;刘凌海设计研发完成，并于2023-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻胶供应系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光刻胶供应系统，至少包括：储罐，包括罐口以及与所述罐口相对设置的罐底；气体供应管路，所述气体供应管路的一端延伸至所述罐口内；第一排气管路，所述第一排气管路的一端由所述罐口延伸至所述罐底；第一接收罐，设置在所述第一排气管路远离所述罐底的一侧；除泡单元，与所述储罐连接；检测单元，设置在所述除泡单元远离所述储罐的一侧；开关阀，设置在所述检测单元远离所述除泡单元的一侧；以及供胶管路，连接所述储罐、所述除泡单元、所述检测单元和所述开关阀。通过本实用新型提供的供应系统，能够监控并自动排除光刻胶供应系统中的气泡，提高光刻胶供应的效率，实现光刻胶供应的智能化。

本实用新型一种光刻胶供应系统在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶供应系统，其特征在于，至少包括：储罐，包括罐口以及与所述罐口相对设置的罐底；气体供应管路，所述气体供应管路的一端延伸至所述罐口内；第一排气管路，所述第一排气管路的一端由所述罐口延伸至所述罐底；第一接收罐，设置在所述第一排气管路远离所述罐底的一侧；除泡单元，与所述储罐连接；检测单元，设置在所述除泡单元远离所述储罐的一侧；开关阀，设置在所述检测单元远离所述除泡单元的一侧；以及供胶管路，连接所述储罐、所述除泡单元、所述检测单元和所述开关阀。

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