买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜ICT集成电路测试股份有限公司申请的专利带电粒子束装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112233960B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-12-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010960020.9，技术领域涉及：H01J37/28；该发明授权带电粒子束装置是由约翰·布鲁尔设计研发完成，并于2018-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本带电粒子束装置在说明书摘要公布了：描述一种用于用初级带电粒子小束阵列对样本进行检查的带电粒子束装置。带电粒子束装置包括：带电粒子束源，用于产生初级带电粒子束；多孔径板，具有至少两个开口以产生带电粒子小束阵列，带电粒子小束阵列至少具有在样本上具有第一分辨率的第一小束和在样本上具有第二分辨率的第二小束；像差校正元件，用于校正旋转对称带电粒子透镜的球差和色差中的至少一个；和物镜组件，用于将初级带电粒子小束阵列的每个初级带电粒子小束聚焦到样本上的单独位置上。

本发明授权带电粒子束装置在权利要求书中公布了：1.一种用于用初级带电粒子小束阵列对样本进行检查的带电粒子束装置，包括：带电粒子束源，用于产生初级带电粒子束；聚光器透镜组件，使所述初级带电粒子束准直；像差校正元件，用于校正所述聚光器透镜组件的球差和色差中的至少一个；多孔径板，具有至少两个开口以从所述初级带电粒子束产生初级带电粒子小束阵列，所述初级带电粒子小束阵列至少具有在所述样本上具有第一分辨率的第一小束和在所述样本上具有第二分辨率的第二小束；和物镜组件，用于将所述初级带电粒子小束阵列的每个初级带电粒子小束聚焦到所述样本上的单独位置上，其中所述物镜组件包括物镜阵列以个别地聚焦所述初级带电粒子小束阵列的每个小束。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ICT集成电路测试股份有限公司，其通讯地址为：德国巴伐利亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。