苏州冠礼科技有限公司黄自柯获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州冠礼科技有限公司申请的专利一种光刻胶温控系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222672144U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420554535.2，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种光刻胶温控系统是由黄自柯;纪心宇;丁文标;林生海设计研发完成，并于2024-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻胶温控系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种光刻胶温控系统，属于光刻胶温控技术领域。该系统包括：套管装置，包括光刻胶输送管道、温控管道和连接头，连接头包括与温控管道的进口和出口连通的第一连通口和第二连通口；分液歧路扩展模组，包括主体部和至少一个拓展连接座，每一拓展连接座用于与套管装置相连，且主体部包括主进液通道和主出液通道，主进液通道与分液歧路扩展模组所连接的套管装置的第一连通口连通，主出液通道与分液歧路扩展模组所连接的套管装置的第二连通口连通；外围温控回路，用于流通温控液体，且包括进液口和出液口，分别与主出液通道和主进液通道连通。本实用新型的光刻胶温控系统能够满足晶圆同一区域多路或多种光刻胶的温控需求。
本实用新型一种光刻胶温控系统在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶温控系统，其特征在于，包括：套管装置，包括光刻胶输送管道、位于所述光刻胶输送管道外部的温控管道和连接头，所述连接头设置于所述光刻胶输送管道的一端且包括与所述温控管道的进口和出口连通的第一连通口和第二连通口；分液歧路扩展模组，包括主体部和至少一个拓展连接座，每一所述拓展连接座用于与所述套管装置相连，且所述主体部包括主进液通道和主出液通道，所述主进液通道与所述分液歧路扩展模组所连接的所述套管装置的所述第一连通口连通，所述主出液通道与所述分液歧路扩展模组所连接的所述套管装置的所述第二连通口连通；外围温控回路，用于流通温控液体，且包括进液口和出液口，分别与所述主出液通道和所述主进液通道连通。
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