福建华清电子材料科技有限公司杨大胜获国家专利权
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龙图腾网获悉福建华清电子材料科技有限公司申请的专利一种静电卡盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222673007U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420496257.X，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种静电卡盘是由杨大胜;施纯锡;冯家伟设计研发完成，并于2024-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电卡盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种静电卡盘，涉及半导体技术领域。包括过滤装置，所述过滤装置包含底座，所述底座底部两侧开设有滑动槽，所述过滤装置顶部设置有吸尘装置，所述吸尘装置包含底板，所述底板顶部两侧固定连接有滑动条，所述滑动条顶部和滑动槽底部之间滑动连接，所述底板顶部一侧固定连接有外壳。本实用新型在使用过程中，当需要清理灰尘时，首先过滤机构通过底板顶部的滑动条滑动到外壳内，然后锁紧电机驱动齿轮进行转动，带动齿条运动，从而使密封板沿着固定架运动，直到和底板密封，最后吸尘电机通过吸尘管将灰尘吸入到吸尘箱内，吸尘机构防止空气中的灰尘进入静电卡盘的内部，提高了静电卡盘的使用寿命，减少了维修成本。
本实用新型一种静电卡盘在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘，其特征在于：包括过滤装置1，所述过滤装置1包含底座101，所述底座101底部两侧开设有滑动槽102，所述过滤装置1顶部设置有吸尘装置2，所述吸尘装置2包含底板201，所述底板201顶部两侧固定连接有滑动条202，所述滑动条202顶部和滑动槽102底部之间滑动连接，所述底板201顶部一侧固定连接有外壳203。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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