南栖仙策(南京)高新技术有限公司张宽阔获国家专利权
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龙图腾网获悉南栖仙策(南京)高新技术有限公司申请的专利一种晶体等径生长控制方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118109905B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410247301.8,技术领域涉及:C30B29/06;该发明授权一种晶体等径生长控制方法、装置、设备及存储介质是由张宽阔;周宽迪设计研发完成,并于2024-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶体等径生长控制方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶体等径生长控制方法、装置、设备及存储介质,该方法包括:获取当前时刻对应的当前等径生长序列;基于当前时刻下的当前加热功率确定对应的加热功率变化范围,并确定多个待选加热功率序列;基于晶体生长模型、当前等径生长序列、多个待选加热功率序列和当前时刻下的当前晶升速度进行晶体生长预测,确定每个待选加热功率序列对应的预测晶体直径序列;基于预测晶体直径序列和目标晶体直径,确定目标加热功率,并基于目标加热功率调整当前时刻下的当前加热功率,以使晶体等径生长。通过本发明实施例的技术方案,实现在恒定晶升速度下晶体的等径生长,避免晶升速度波动导致的晶体质量问题。
本发明授权一种晶体等径生长控制方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种晶体等径生长控制方法,其特征在于,包括:获取当前时刻对应的当前等径生长序列,所述当前等径生长序列包括当前时刻下的等径生长数据和多个历史时刻下的等径生长数据,所述等径生长数据包括:晶体直径、晶升速度和加热功率;基于当前时刻下的当前加热功率确定当前时刻对应的加热功率变化范围,并对所述加热功率变化范围进行采样处理,确定多个待选加热功率序列,每个待选加热功率序列包括采样出的多个待选加热功率,其中,所述待选加热功率序列是指在当前时刻对应的加热功率变化范围内采样得到的多个可能的加热功率值组成的数据序列;基于晶体生长模型、所述当前等径生长序列、多个待选加热功率序列和当前时刻下的当前晶升速度进行晶体生长预测,确定每个待选加热功率序列对应的预测晶体直径序列,其中,所述当前晶升速度在晶体生长预测过程中保持不变;基于所述预测晶体直径序列和目标晶体直径,确定与所述目标晶体直径相匹配的目标加热功率,并基于所述目标加热功率调整当前时刻下的当前加热功率,以使晶体等径生长;所述基于晶体生长模型、所述当前等径生长序列、多个待选加热功率序列和当前时刻下的当前晶升速度进行晶体生长预测,确定每个待选加热功率序列对应的预测晶体直径序列,包括:针对每个待选加热功率序列而言,基于该待选加热功率序列中的当前待选加热功率、所述当前等径生长序列和当前时刻下的当前晶升速度,确定当前采样点时刻对应的目标等径生长序列,其中,该待选加热功率序列中的待选加热功率与采样点时刻一一对应;基于晶体生长模型和当前采样点时刻对应的目标等径生长序列进行晶体生长预测,确定当前采样点时刻对应的预测晶体直径;所述基于该待选加热功率序列中的当前待选加热功率、所述当前等径生长序列和当前时刻下的当前晶升速度,确定当前采样点时刻对应的目标等径生长序列,包括:若当前待选加热功率为该待选加热功率序列中的首个待选加热功率,则将所述当前等径生长序列确定为当前采样点时刻对应的目标等径生长序列;若当前待选加热功率为该待选加热功率序列中的非首个待选加热功率,则基于所述当前等径生长序列、历史采样点时刻对应的预测晶体直径和历史待选加热功率以及当前时刻下的当前晶升速度,确定当前采样点时刻对应的目标等径生长序列。
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