江苏微导纳米科技股份有限公司汪小永获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利基片扩散装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222674860U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420267325.5，技术领域涉及：H10F71/00；该实用新型基片扩散装置是由汪小永;廖宝臣;陈云;张敏;曹炜博;种世平设计研发完成，并于2024-02-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本基片扩散装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种基片扩散装置，包括：炉体，包括相对的第一端和第二端，炉体形成有炉体腔；基片放置区，设置于炉体腔；进气管，一端设置有扩口部，扩口部从第一端部分或全部伸入炉体腔并指向基片放置区，扩口部的横截面沿靠近基片放置区的方向逐渐增大。本申请基片扩散装置能够提升扩散气体发散性能，进而提升基片放置区待加工件方阻均匀性。
本实用新型基片扩散装置在权利要求书中公布了：1.一种基片扩散装置，其特征在于，包括：炉体，包括相对的第一端和第二端，所述炉体形成有炉体腔；基片放置区，设置于所述炉体腔；进气管，一端设置有扩口部，所述扩口部从所述第一端部分或全部伸入所述炉体腔并指向所述基片放置区，所述扩口部的横截面沿靠近所述基片放置区的方向逐渐增大。
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