苏州浦丰鑫电子科技有限公司周伟获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州浦丰鑫电子科技有限公司申请的专利一种晶圆涂覆机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222672970U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323644363.2,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种晶圆涂覆机是由周伟设计研发完成,并于2023-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆涂覆机在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆涂覆机技术领域,公开了一种晶圆涂覆机,包括箱体,所述箱体内部底端固定连接有固定架,所述固定架内部固定连接有第一电动推杆,所述第一电动推杆输出端固定连接有固定板,所述箱体顶端固定连接有连接架,所述连接架内转动连接有滑板,所述滑板外壁滑动连接有连接架,所述箱体外壁左侧固定连接有风机,本实用新型与现有技术相比优点在于:通过将需要涂覆的晶圆放入固定架顶端,通过启动第一电动推杆推动固定板沿着滑杆滑动,便于将晶圆进行夹持,且可以通过晶圆的直径进行调节,通过启动风机将外界的空气吹入箱体内部进行除尘,便于将需要涂覆的晶圆表面进行除杂,避免晶圆表面出现杂物造成涂覆不完全。
本实用新型一种晶圆涂覆机在权利要求书中公布了:1.一种晶圆涂覆机,包括箱体1,其特征在于:所述箱体1内部底端固定连接有固定架2,所述固定架2内部固定连接有第一电动推杆3,所述第一电动推杆3输出端固定连接有固定板4,所述箱体1顶端固定连接有连接架16,所述连接架16内转动连接有滑板18,所述滑板18外壁滑动连接有连接架16,所述箱体1外壁左侧固定连接有风机8,所述风机8输出端固定连接有气管15,所述风机8顶端固定连接有料箱9,所述箱体1内部固定连接有物料泵10,所述物料泵10输出端固定连接有物料泵10,所述物料泵10输出端固定连接有料管11,所述料管11一端固定贯通有喷料头12。
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