恭喜苏州晟成光伏设备有限公司杨星获国家专利权
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龙图腾网恭喜苏州晟成光伏设备有限公司申请的专利一种稳定气流的等离子辅助氧化装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116083885B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310038708.5，技术领域涉及：C23C16/509；该发明授权一种稳定气流的等离子辅助氧化装置是由杨星;刘旭豪;周文彬设计研发完成，并于2023-01-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种稳定气流的等离子辅助氧化装置在说明书摘要公布了：本发明揭示了一种稳定气流的等离子辅助氧化装置，其包括等离子处理腔、输送穿过所述等离子处理腔内部的输送装置以及位于所述输送装置上用于承载基板的载板，所述等离子处理腔内位于所述输送装置的上方沿输送方向依次设置有气体导入系统、阴极板以及抽真空系统，所述等离子处理腔内位于所述输送装置的下方形成有与所述阴极板上下相对的阳极板，所述阴极板通过导线电连通于高频电源，所述气体导入系统与所述抽真空系统配合在所述输送装置上方空间内形成有弧形轨迹的气流场，所述阳极板与所述阴极板配合在两者之间的空间内形成有自下而上的电场。本发明解决基片平行传动对电场和流场的扰动问题，从而提高被氧化薄膜的整体均匀度。
本发明授权一种稳定气流的等离子辅助氧化装置在权利要求书中公布了：1.一种稳定气流的等离子辅助氧化装置，其特征在于：其包括等离子处理腔、输送穿过所述等离子处理腔内部的输送装置以及位于所述输送装置上用于承载基板的载板，所述等离子处理腔内位于所述输送装置的上方沿输送方向依次设置有气体导入系统、阴极板以及抽真空系统，所述等离子处理腔内位于所述输送装置的下方形成有与所述阴极板上下相对的阳极板，所述阴极板通过导线电连通于高频电源，所述气体导入系统与所述抽真空系统配合在所述输送装置上方空间内形成有弧形轨迹的气流场，所述阳极板与所述阴极板配合在两者之间的空间内形成有自下而上的电场。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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