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龙图腾网恭喜西北工业大学申请的专利一种声表面波微传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115808260B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211507649.3，技术领域涉及：G01L1/25；该发明授权一种声表面波微传感器及其制备方法是由马炳和;裴光耀;高伟;罗剑;赵珂藜;张忠刚设计研发完成，并于2022-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种声表面波微传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种声表面波微传感器及其制备方法，所述微传感器包括：下层基底，下层基底上设有盲槽；上层基底，上层基底上设有第一通孔，第二通孔，连接第一通孔和第二通孔的第一应力释放桥、第二应力释放桥，及第一通孔、第二通孔、第一应力释放桥和第二应力释放桥围成的应力隔离梁，应力隔离梁靠近下层基底侧悬空；盲槽与上层基底密封为压力敏感单元，应力隔离梁与下层基底连接为温度敏感单元，压力敏感单元和温度敏感单元无重合区且其声表面波谐振频率、工作频段均不同；导电层，被配置为转换交流电信号为周期性电磁场并加载至上层基底中，获取压力敏感单元与温度敏感单元的声表面波。实现高温转子压力和温度测量，并提高了测量准确性。

本发明授权一种声表面波微传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种声表面波微传感器，其特征在于，所述微传感器包括：下层基底，所述下层基底上设有盲槽；设于所述下层基底上所述盲槽所在侧的上层基底，所述上层基底上设有第一通孔，第二通孔，连接所述第一通孔和所述第二通孔的第一应力释放桥、第二应力释放桥，及所述第一通孔、所述第二通孔、所述第一应力释放桥和所述第二应力释放桥围成的应力隔离梁，所述应力隔离梁靠近所述下层基底侧悬空；所述应力隔离梁通过所述第一应力释放桥和所述第二应力释放桥与所述上层基底连接，通过所述第一通孔和所述第二通孔将所述应力隔离梁其他部分与所述上层基底隔离；所述盲槽与所述上层基底密封为压力敏感单元，所述压力敏感单元用于测量压力；所述应力隔离梁与所述下层基底连接为温度敏感单元，所述温度敏感单元用于测量温度；所述压力敏感单元和所述温度敏感单元没有重合区域，所述压力敏感单元和所述温度敏感单元的声表面波谐振频率、工作频段均不同；设于所述上层基底上的导电层，所述导电层被配置为转换交流电信号为周期性电磁场，将所述周期性电磁场加载至所述上层基底中，获取所述压力敏感单元与所述温度敏感单元的声表面波。

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