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龙图腾网恭喜北京华丞电子有限公司申请的专利反应腔室的压力控制方法、装置和半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114706431B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210319844.7，技术领域涉及：G05D16/20；该发明授权反应腔室的压力控制方法、装置和半导体工艺设备是由郑文宁;赵迪;吴昊设计研发完成，并于2022-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本反应腔室的压力控制方法、装置和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种压力控制方法，包括：获取反应腔室的实际气体压力值；实时计算在预设时间内实际气体压力值的压力变化率，并根据压力变化率，确定与其对应的迟滞转换系数，迟滞转换系数为负数且绝对值大小与压力变化率的绝对值大小成正相关；将迟滞转换系数与初始反馈控制方程的系数相乘，得到修正后的反馈控制方程，根据修正后的反馈控制方程计算压力调节阀的开度调节量，并根据开度调节量调节压力调节阀的开度，直至实际气体压力值达到目标压力。本发明提供的方法能够在气体压力达到目标压力前对压力调节阀的开度进行反向调节，避免发生压力过冲，提高反应腔室的压力稳定性。本发明还提供一种反应腔室的压力控制装置和半导体工艺设备。

本发明授权反应腔室的压力控制方法、装置和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种反应腔室的压力控制方法，所述反应腔室的进气管路或排气管路上设置有压力调节阀，其特征在于，所述方法包括：获取所述反应腔室的实际气体压力值；实时计算在预设时间内所述实际气体压力值的压力变化率，并根据所述压力变化率，确定与其对应的迟滞转换系数，所述迟滞转换系数为负数且所述迟滞转换系数的绝对值大小与所述压力变化率的绝对值大小成正相关，以在所述实际气体压力值即将达到目标压力前，对所述压力调节阀的开度进行反向调节；将所述迟滞转换系数与初始反馈控制方程的系数相乘，得到修正后的反馈控制方程，根据所述修正后的反馈控制方程计算所述压力调节阀的开度调节量，并根据所述开度调节量调节所述压力调节阀的开度，直至所述实际气体压力值达到所述目标压力。

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