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龙图腾网恭喜费勉仪器科技(上海)有限公司申请的专利可切换真空光学组件及真空光源系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114384103B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111512202.0，技术领域涉及：G01N23/227；该发明授权可切换真空光学组件及真空光源系统是由赵子淳;邹洁;鹿建设计研发完成，并于2021-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本可切换真空光学组件及真空光源系统在说明书摘要公布了：本公开提供了一种可切换真空光学组件，其特征在于，包括：真空容纳腔，包括光学输入端和光学输出端，真空容纳腔用于容纳位于光路上的工作光学元件；切换装置，与真空容纳腔真空密封连接，包括：承载装置，用于承载多个光学元件；驱动装置，用于驱动承载装置运动，以切换真空容纳腔内的工作光学元件。

本发明授权可切换真空光学组件及真空光源系统在权利要求书中公布了：1.一种可切换真空光学组件，其特征在于，包括：真空容纳腔，包括光学输入端和光学输出端，所述真空容纳腔用于容纳位于光路上的工作光学元件；切换装置，与所述真空容纳腔真空密封连接，包括：承载装置，用于承载多个光学元件，所述承载装置包括馈送件，所述多个光学元件设置在所述馈送件上；驱动装置，用于驱动所述承载装置运动，以切换所述真空容纳腔内的所述工作光学元件，所述驱动装置包括线性机构，与所述馈送件连接，用于驱动所述馈送件作线性运动，以切换所述真空容纳腔内的位于所述光路上的所述工作光学元件，所述线性机构，包括：第一法兰，与所述真空容纳腔连接，真空密封件，通过T型槽与所述馈送件连接；波纹管，与所述真空密封件和所述第一法兰真空密封连接，用于容纳所述馈送件；以及调节组件，用于调节所述真空密封件和所述第一法兰之间的距离，以馈入所述馈送件，所述调节组件，包括：螺杆组件，与所述第一法兰和所述真空密封件连接，用于调节所述第一法兰和所述真空密封件之间的距离；限位器，设置在所述真空容纳腔内，与所述馈送件相配合，用于对所述工作光学元件进行限位，所述限位器包括：限位座，包括与所述馈送件相配合的限位凹槽；以及限位柱塞，设置在所述限位座上，与所述馈送件上的限位孔相配合。

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