恭喜中锗科技有限公司周锐获国家专利权
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龙图腾网恭喜中锗科技有限公司申请的专利一种用于InP磷化铟单晶片电性能测试的高斯计探头、测试装置及测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112986633B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110437117.6,技术领域涉及:G01R1/067;该发明授权一种用于InP磷化铟单晶片电性能测试的高斯计探头、测试装置及测试方法是由周锐;柯尊斌;王卿伟;郭友林设计研发完成,并于2021-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于InP磷化铟单晶片电性能测试的高斯计探头、测试装置及测试方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于InP磷化铟单晶片电性能测试的高斯计探头、测试装置及测试方法,用于InP磷化铟单晶片电性能测试的高斯计探头,包括探头本体、测试样片和数据线;探头本体一端为样品端、另一端为出线端,探头本体的样品端设有方形凹槽;数据线一端分支为四根控制线、分别位于方形凹槽内的四角处,数据线的另一端从探头本体的出线端穿出;测试样片位于方形凹槽内;四根控制线的端部分别连接有铂铑丝、作为导体连接线端,导体连接线端与测试样片焊接。本申请可获得晶棒准确的电性能参数,为晶片分级、客户分类及技术调整提供有力的参考依据,有效防止了因电性能参数问题而导致的客户退货问题。
本发明授权一种用于InP磷化铟单晶片电性能测试的高斯计探头、测试装置及测试方法在权利要求书中公布了:1.一种具有磁场旋转调节功能的电性能测试装置,与用于InP磷化铟单晶片电性能测试的高斯计探头配套使用,其特征在于:包括第一铜线圈、第二铜线圈、连接轴、禁锢旋转盖和位置调节环;第一铜线圈和第二铜线圈的两端均分别设有内挡环和外挡环;第一铜线圈和第二铜线圈均螺纹连接在连接轴上,第一铜线圈的内挡环和第二铜线圈的内挡环相邻、且间隔大于零,连接轴的两端分别超出第一铜线圈的外挡环和第二铜线圈的外挡环;第一铜线圈的内挡环上设有探头插槽;禁锢旋转盖螺纹连接在第一铜线圈外挡环一端的连接轴上;位置调节环位于连接轴外围、且连接在第二铜线圈的外挡环上;用于InP磷化铟单晶片电性能测试的高斯计探头,包括探头本体、测试样片和数据线;探头本体一端为样品端、另一端为出线端,探头本体的样品端设有方形凹槽;数据线一端分支为四根控制线、分别位于方形凹槽内的四角处,数据线的另一端从探头本体的出线端穿出;测试样片位于方形凹槽内;四根控制线的端部分别连接有铂铑丝、作为导体连接线端,导体连接线端与测试样片焊接。
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