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龙图腾网恭喜苏州雨竹机电有限公司申请的专利化学气相沉积反应腔获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112176324B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011165028.2，技术领域涉及：C23C16/46；该发明授权化学气相沉积反应腔是由吴铭钦;刘峰设计研发完成，并于2020-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本化学气相沉积反应腔在说明书摘要公布了：本发明所提供的化学气相沉积反应腔，为一种面下型FaceDown反应腔，能使基板晶圆以反应面朝下的方式与反应气体进行接触，让粉尘因为重力关往下沉降而不容易附着于基板的反应面，以改善因粉尘飘散而造成的良率损失问题。其次，而为了达到高产能力，本发明在化学气相沉积反应腔之中设置便于自动化生产作业的基板承载装置，以使基板的放置、收取更为便捷，进而达到高产量能力的效果。再者，基板承载装置还能导入气浮气体，以使基板悬浮与旋转，让基板的受热效果更为均匀与精确，进而改善基板成膜效果更不均的问题。

本发明授权化学气相沉积反应腔在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积反应腔，其特征在于，包含：一腔体；一上加热模块，设置在该腔体内的上部；一下加热模块，该下加热模块设置在该腔体下方；一基板承载装置，设置在该腔体内对应于该上加热模块下方的位置，用于承载至少一基板并包含至少一碟盘、一下大盘以及一上大盘，该碟盘具有一上方开放的基板槽以供该基板以反应面朝下的方式置入，该基板槽下方设有一反应口以供该基板的反应面裸露，该下大盘具有至少一个上方开放的碟盘槽以供该碟盘置入，该碟盘槽下方设有一底口以供该反应面裸露，该上大盘遮盖于该下大盘的上方并将该碟盘槽上方封闭，该上大盘的半径大于该下大盘；一升降筒暨废气收集环，连接于该下大盘以支撑并带动该基板承载装置升降及旋转，并收集反应后的废气；一喷头，设置在该腔体内以释出反应气体；以及一止挡单元，设置在该腔体内壁，使得该上大盘的边沿于该升降筒暨废气收集环下降至预设高度时被该止挡单元拦阻而分离于该下大盘，待该升降筒暨废气收集环下降至最低位置时，该碟盘槽的上方以及该基板槽的上方呈现裸露状态；该腔体的侧壁设有至少一取放口，该升降筒暨废气收集环上升至最高位置时遮蔽该取放口，该升降筒暨废气收集环下降至最低位置时开放该取放口；该碟盘槽设有一环槽沟，该碟盘设有一入于该环槽沟的对接部，该环槽沟内设有一环状气浮通道；该环状气浮通道以切线方向衔接一入气引道，以引入气浮气体施力于该对接部，使该碟盘悬浮及旋转；该环槽沟衔接于一第一泄出口，以供该气浮气体排出；以该气浮气体的引入流量大小控制该碟盘的悬浮高度；该上大盘设有一第二泄出口与该第一泄出口衔接。

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