买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜上海果纳半导体技术有限公司申请的专利晶圆检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112164661B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011038027.1，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权晶圆检测设备是由叶莹设计研发完成，并于2020-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆检测设备在说明书摘要公布了：一种晶圆检测设备，包括：晶圆载台，用于固定待检测晶圆并能使所述固定后的待检测晶圆移动；激光模块，用于在待检测晶圆移动时向所述待检测晶圆的表面发射检测激光；摄像头阵列，所述摄像头阵列包括若干摄像头，用于获得检测激光照射待检测晶圆表面时反射的光斑的位移；曲率获取模块，用于根据所述光斑的位移获得所述待检测晶圆的曲率。本发明的晶圆检测设备提高了曲率检测的效率和精度。

本发明授权晶圆检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测设备，其特征在于，包括：晶圆载台，用于固定待检测晶圆并能使所述固定后的待检测晶圆移动；激光模块，用于在待检测晶圆移动时向所述待检测晶圆的表面发射多束检测激光；摄像头阵列，所述摄像头阵列包括若干摄像头，用于获得多束所述检测激光照射所述待检测晶圆表面时反射的多个光斑对应的多个位移，所述摄像头阵列还包括一平面基板，若干所述摄像头排布在所述平面基板上，所述平面基板为PCB基板，所述PCB基板上具有若干连接线路，相应的线路与对应的摄像头连接;相邻两摄像头之间的所述平面基板中具有贯穿所述平面基板上下表面的穿孔,所述激光模块设置于所述摄像头阵列的上方，所述激光模块发出的所述检测激光穿过所述穿孔照射所述待检测晶圆；曲率获取模块，用于根据多个所述光斑的多个位移获得所述待检测晶圆的多个曲率，曲率获取模块通过下述公式进行计算获得曲率半径：R＝2Ldzdx-1，其中R表示曲率半径，L表示待检测晶圆表面到摄像头之间的光程，dx表示进行曲率测量时待检测晶圆在某一方向上的移动距离，dz表示待检测晶圆移动dx时，相应的摄像头上的光斑的移动距离，在进行曲率检测时的初始位置，激光模块发射的检测激光在待检测晶圆上反射的光斑被摄像头阵列中的一个摄像头接收，在晶圆载台使得待检测晶圆沿某一方向直线移动时，所述检测激光在待检测晶圆上反射的光斑被另一个摄像头接收。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海果纳半导体技术有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号C楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。