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恭喜苏州芯镁信电子科技有限公司沈方平获国家专利权

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龙图腾网恭喜苏州芯镁信电子科技有限公司申请的专利一种热导气体传感器、制备方法及气体热导率检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118583914B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411051939.0,技术领域涉及:G01N25/20;该发明授权一种热导气体传感器、制备方法及气体热导率检测方法是由沈方平;徐晓苗;徐宗亮;姜熙君;王震怀设计研发完成,并于2024-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。

一种热导气体传感器、制备方法及气体热导率检测方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种热导气体传感器、制备方法及气体热导率检测方法,包括开设有悬空槽的衬底和至少部分悬空设置于所述悬空槽上的温场层,所述温场层包括间隔设置的恒温热源和至少两个测温单元;所述悬空槽用于容纳待测气体,所述至少两个测温单元中的至少部分测温单元与所述恒温热源间的间距非等距设置。本申请采用不对称温场测量技术,通过在悬空设置的温场层中将至少两个测温单元与恒温热源非等距设置,测量悬空槽中待测气体的温场,能够通过该温场中各等温线的漂移计算该待测气体的热导率,有效消除环境温度带来的干扰,无需温度补偿,能够大大提升该热导气体传感器的检测灵敏度和检测精度。

本发明授权一种热导气体传感器、制备方法及气体热导率检测方法在权利要求书中公布了:1.一种热导气体传感器,其特征在于,包括开设有悬空槽的衬底和至少部分悬空设置于所述悬空槽上的温场层,所述悬空槽用于容纳待测气体,所述温场层包括复合介质层和图案化的金属层,所述复合介质层包括相互连接的悬空部和支撑部,所述支撑部位于所述衬底上,所述悬空部位于所述悬空槽上,所述金属层位于所述悬空部中;所述金属层包括间隔设置的恒温热源和至少两个测温单元,所述至少两个测温单元中的至少部分测温单元与所述恒温热源间的间距非等距设置;非等距设置的至少部分测温单元中,至少一个所述测温单元与所述恒温热源间的间距,和至少另一所述测温单元与所述恒温热源间的间距的差值为1μm~40μm;所述测温单元包括多个测温点,在同一所述测温单元中,所述多个测温点中至少部分测温点分别位于同一平面中的多条等温线上;在不同所述测温单元中,至少两个所述测温单元彼此的至少部分测温点位于同一等温线上;所述金属层还包括至少一个加强结构,所述加强结构位于所述测温单元远离所述恒温热源的一侧,所述加强结构贯穿所述悬空槽并与所述支撑部的位于所述悬空槽边壁的端部连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州芯镁信电子科技有限公司,其通讯地址为:215168 江苏省苏州市吴中区兴南路21号4幢5楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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