昆山弘圣翔电子有限公司张红阳获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山弘圣翔电子有限公司申请的专利一种半导体用静电卡盘曝光机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222690053U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421540347.0，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种半导体用静电卡盘曝光机是由张红阳;童家远;余秋华;郝庆辉;谭东设计研发完成，并于2024-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体用静电卡盘曝光机在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体用静电卡盘曝光机，包括主支撑组件，所述主支撑组件侧部设置有辅助支撑组件，所述主支撑组件的顶部设置有送风组件，所述主支撑组件内部设置有曝光组件，所述辅助支撑组件上设置有台框移动控制组件，所述台框移动控制组件的移动部位设置有台框模组，所述主支撑组件外侧壁上设置有操控模块。本技术方案的半导体用静电卡盘曝光机，结构设计巧妙，实用新较强，可以对不同外观尺寸的工作物进行曝光，将工作物的摆放调整到合适曝光的工位，解决了此前常规曝光机只能针对较规则，且较薄的产品进行曝光作业的限制，并且此设计，采用LED扫描式曝光灯源，降低了设备的用电量，低碳环保，且能降低终端生产成本。
本实用新型一种半导体用静电卡盘曝光机在权利要求书中公布了：1.一种半导体用静电卡盘曝光机，其特征在于，包括主支撑组件1，所述主支撑组件1侧部设置有辅助支撑组件2，所述主支撑组件1的顶部设置有送风组件3，所述主支撑组件1内部设置有曝光组件4，所述辅助支撑组件2上设置有台框移动控制组件5，所述台框移动控制组件5的移动部位设置有台框模组6，所述主支撑组件1外侧壁上设置有操控模块7。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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