安徽华远装备科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司潘宏胜获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽华远装备科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司申请的专利一种用于磁控溅射工艺腔隔板的冷却结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222684737U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421510071.1，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种用于磁控溅射工艺腔隔板的冷却结构是由潘宏胜;梅艳慧;江湖;鲁启昌;叶显飞设计研发完成，并于2024-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于磁控溅射工艺腔隔板的冷却结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及磁控溅射镀膜技术领域，具体涉及一种用于磁控溅射工艺腔隔板的冷却结构，包括工艺腔、进水管接头和出水管接头，还包括工艺腔隔板，工艺腔隔板设置在工艺腔内，工艺腔隔板内设有冷却水通道，冷却水通道的一端与进水管接头连通，冷却水通道的另一端与出水管接头接通构成循环回路。本实用新型的工艺腔隔板内设有冷却水通道，且与进水管接头和出水管接头构成循环回路，冷却通道集成在工艺腔隔板上为一体设计，无需在工艺腔底板开孔，不仅增加了工艺腔的结构强度，而且可以解决现有技术中冷却水在隔板内循环过程中发生内漏的风险及不易安装和更换的难题。
本实用新型一种用于磁控溅射工艺腔隔板的冷却结构在权利要求书中公布了：1.一种用于磁控溅射工艺腔隔板的冷却结构，包括工艺腔1、进水管接头2和出水管接头3，其特征在于：还包括工艺腔隔板4，工艺腔隔板4设置在工艺腔1内，工艺腔隔板4内设有冷却水通道5，冷却水通道5的一端与进水管接头2连通，冷却水通道5的另一端与出水管接头3接通构成循环回路。
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