江苏富乐华功率半导体研究院有限公司武威获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏富乐华功率半导体研究院有限公司申请的专利一种低热膨胀系数覆铝陶瓷衬板的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118835200B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410842395.3,技术领域涉及:C23C14/24;该发明授权一种低热膨胀系数覆铝陶瓷衬板的制备方法是由武威;王斌;高远;蹇满;周鑫设计研发完成,并于2024-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种低热膨胀系数覆铝陶瓷衬板的制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体技术领域,具体是一种低热膨胀系数覆铝陶瓷衬板的制备方法。本发明的特点在于,通过真空微蒸发镀工艺对金刚石微粉进行金属化,得到金属化金刚石微粉。将金属化金刚石微粉和纯铝粉混合,通过冷喷工艺处理,在双面覆铝陶瓷衬板上形成铝金刚石复合层。将处理后的双面覆铝陶瓷衬板先进行预处理,再进行表面镀镍,形成一种表面镀层‑铝金刚石复合层‑双面覆铝陶瓷衬板‑铝金刚石复合层‑表面镀层的结构。本发明制备得到的成品与芯片的热膨胀系数具有良好的匹配性,同时具有良好的热导率;因此该成品具有良好的可靠性和热循环性能。
本发明授权一种低热膨胀系数覆铝陶瓷衬板的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种低热膨胀系数覆铝陶瓷衬板,其特征在于:包括双面覆铝陶瓷衬板,所述双面覆铝陶瓷衬板两侧设有铝金刚石复合层,所述铝金刚石复合层表面镀有镍层;所述镍层厚度为2-4μm;所述铝金刚石复合层厚度为20-30μm,所述铝金刚石复合层中纯铝粉和金属化金刚石微粉的重量比为8:(2.0-2.5);所述双面覆铝陶瓷衬板的铝厚度为0.2-0.8mm。
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