长电集成电路(绍兴)有限公司雷志杰获国家专利权
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龙图腾网获悉长电集成电路(绍兴)有限公司申请的专利一种适用翘曲晶圆的真空吸附划片机结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222690658U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420838129.9,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种适用翘曲晶圆的真空吸附划片机结构是由雷志杰;许祥辉设计研发完成,并于2024-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用翘曲晶圆的真空吸附划片机结构在说明书摘要公布了:本申请涉及晶圆真空吸附机的技术领域,尤其是涉及一种适用翘曲晶圆的真空吸附划片机结构,包括机台,所述机台的外侧边设置有密封胶圈,所述机台的外侧设置有用于夹持片环的固定爪,所述固定爪抵压在所述片环上侧,以使得密封胶圈受压,所述固定爪的中部转动连接在所述机台上,所述固定爪的一端用于朝内侧转动后抵压与所述片环上侧,所述机台上设置有用于驱使所述固定爪另一端朝外转动的驱动件。本申请具有以下效果:增加在片环和机台之间密封胶圈,能够填充翘曲导致的间隙部分,并且在操作前,使得固定爪转动并抵压在片环上,对密封胶圈施加作用力,形成密封,这样在吸附时,能够保证中间区域的吸附力,便于后续作业。
本实用新型一种适用翘曲晶圆的真空吸附划片机结构在权利要求书中公布了:1.一种适用翘曲晶圆的真空吸附划片机结构,包括机台(100),其特征在于:所述机台(100)的外侧边设置有密封胶圈(110),所述机台(100)的外侧设置有用于夹持片环的固定爪(111),所述固定爪(111)抵压在所述片环上侧,以使得密封胶圈(110)受压,所述固定爪(111)的中部转动连接在所述机台(100)上,所述固定爪(111)的一端用于朝内侧转动后抵压与所述片环上侧,所述机台(100)上设置有用于驱使所述固定爪(111)另一端朝外转动的驱动件。
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