上海稷以科技有限公司彭帆获国家专利权
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龙图腾网获悉上海稷以科技有限公司申请的专利一种内置电极的高温加热器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222691888U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420798596.3，技术领域涉及：H05B3/03；该实用新型一种内置电极的高温加热器是由彭帆设计研发完成，并于2024-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种内置电极的高温加热器在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种内置电极的高温加热器，包括加热器主体，所述加热器主体包括底座、下层板、夹层板、中间板和上层板，上层板与中间板之间安装电极板，中间板与夹层板之间安装加热元件，夹层板与下层板之间安装隔热元件；所述加热元件连接导电柱，所述电极通过偏压射频模块连接至电流馈入接口。本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型可加热至900度以上，同时内置耐高温电极，使其可在高温情况下进行偏压射频，实现多种工艺组合，改善晶圆的工艺均匀性，同时内部配有吹扫气道，防止加热元件氧化，提高加热器的使用寿命。
本实用新型一种内置电极的高温加热器在权利要求书中公布了：1.一种内置电极的高温加热器，包括加热器主体，其特征在于：所述加热器主体包括底座、下层板、夹层板、中间板和上层板，上层板与中间板之间安装电极板，中间板与夹层板之间安装加热元件，夹层板与下层板之间安装隔热元件；所述加热元件连接导电柱，所述电极通过偏压射频模块连接至电流馈入接口。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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