恭喜常州英诺激光科技有限公司胥庆亮获国家专利权
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龙图腾网恭喜常州英诺激光科技有限公司申请的专利晶圆载具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222690657U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420789829.3，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型晶圆载具是由胥庆亮;靳璞磊;万晟睿设计研发完成，并于2024-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆载具在说明书摘要公布了：本实用新型属于晶圆加工技术领域，具体涉及一种晶圆载具。该晶圆载具的承载盘的上表面由圆心向外周依次设置有中央负压区、第一外围负压区和第二外围负压区，中央负压区可以对晶圆的中央部分进行吸附，当承载的晶圆直径较大时，第一外围负压区和第二外围负压区可以分别吸附不同尺寸的晶圆的外边缘部分，可以稳固吸附不同尺寸的晶圆。换言之，本实施例的晶圆载具可以稳定吸附不同尺寸的晶圆，可以根据不同尺寸的晶圆有选择的选用需要的负压区。
本实用新型晶圆载具在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载具，其特征在于，包括：基板和设置在基板上的承载盘；所述承载盘的上表面由圆心向外周依次设置有中央负压区、第一外围负压区和第二外围负压区；所述基板上设置有分别与中央负压区、第一外围负压区和第二外围负压区连通的中央负压通道组件、第一外围负压通道组件和第二外围负压通道组件，用于对相应负压区产生负压。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人常州英诺激光科技有限公司，其通讯地址为：213000 江苏省常州市武进区常武中路18-69号常州科教城英诺激光大厦3楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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