恭喜上海积塔半导体有限公司张帅帅获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海积塔半导体有限公司申请的专利一种晶圆刷辅助校准装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222678845U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420701360.3，技术领域涉及：B08B1/12；该实用新型一种晶圆刷辅助校准装置是由张帅帅;杨俊男;闫晓晖设计研发完成，并于2024-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆刷辅助校准装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆刷辅助校准装置，包括：装置主体、第一辅助刷、第二辅助刷及校准机构，其中装置主体至少包括相对设置的第一侧壁及第二侧壁，第一侧壁上设有间隔设置的第一驱动部和第二驱动部，第二侧壁上设有间隔设置的第一从动部和第二从动部；第一辅助刷两端分别安装于第一驱动部与第一从动部上；第二辅助刷两端分别安装于第二驱动部与第二从动部上；校准机构卡固于装置主体上的预设位置，校准机构至少包括固定支架以及至少一设置于固定支架上的辅助定位单元，辅助定位单元上设有相对设置的第一卡槽和第二卡槽，第一卡槽和第二卡槽分别与第一辅助刷和第二辅助刷相吻合。本实用新型的晶圆刷辅助装置简化了校准工艺，提升了晶圆加工效率。
本实用新型一种晶圆刷辅助校准装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆刷辅助校准装置，其特征在于，包括：装置主体，至少包括相对设置的第一侧壁及第二侧壁，所述第一侧壁上设有间隔设置的第一驱动部和第二驱动部，所述第二侧壁上设有间隔设置的第一从动部和第二从动部；第一辅助刷，两端分别安装于所述第一驱动部与所述第一从动部上；第二辅助刷，两端分别安装于所述第二驱动部与所述第二从动部上；校准机构，卡固于所述装置主体上的预设位置，所述校准机构至少包括固定支架以及至少一设置于所述固定支架上的辅助定位单元，所述辅助定位单元上设有相对设置的第一卡槽和第二卡槽，所述第一卡槽和所述第二卡槽分别与所述第一辅助刷和所述第二辅助刷相吻合。
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