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龙图腾网恭喜上海卓晶半导体科技有限公司申请的专利一种切边型晶圆二次对准装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222690656U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420686513.1，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种切边型晶圆二次对准装置是由阮裕栋设计研发完成，并于2024-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种切边型晶圆二次对准装置在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种切边型晶圆二次对准装置，其包括支承装配组件、转接承载组件、晶圆限位组件、转接支托组件、敲边对准组件及敲边驱动组件，该对准装置在使用之前需预先对位置进行校准，使其对准中心与切边检测装置的中心重合，支承基座翻转时可携带整个对准装置与切边检测装置对接，此时偏心导轮带动敲边座臂及敲边悬臂远离切边型晶圆，使切边型晶圆的切边部与切边挡轮抵合，其弧边部与弧边挡轮抵合，偏心导轮继续转动后可使敲边座臂与敲边悬臂在复位拉簧的拉动下靠近切边型晶圆，使敲边挡轮对其弧边部进行敲击，使晶圆圆心能够得到确定，切边方向也得到确定，为后续进一步检测晶圆打下了基础，极大提高了晶圆的平整度和曲翘度检测精度。

本实用新型一种切边型晶圆二次对准装置在权利要求书中公布了：1.一种切边型晶圆二次对准装置，其特征在于，包括：支承装配组件，该支承装配组件通过转动结构安装于晶圆检测设备中，并与翻转驱动机构衔接，由翻转驱动机构带动支承装配组件在晶圆检测设备中翻转，使其靠近或远离切边检测装置；转接承载组件，该转接承载组件通过可调节连接结构安装于支承装配组件上，可在支承装配组件上调节安装位置，并可随支承装配组件一同翻转，其内部具有承载空间；晶圆限位组件，该晶圆限位组件通过可调节连接结构安装于转接承载组件上，可在转接承载组件上调节安装位置，并可随转接承载组件一同翻转，其与切边型晶圆形状适配，可对切边检测装置中的切边型晶圆进行限位；转接支托组件，该转接支托组件通过可调节结构安装于支承装配组件上，并与转接承载组件位置对应，其可随支承装配组件上调节安装位置，并可随支承装配组件一同翻转，其内部具有支托空间；敲边对准组件，该敲边对准组件通过转动结构安装于转接支托组件上，并与晶圆限位组件位置对应，其可随转接支托组件一同翻转，并可在转接支托组件上偏转，以对切边检测装置中的切边型晶圆边缘进行敲击，使其中心对准切边检测装置的中心；敲边驱动组件，该敲边驱动组件安装于转接支托组件上，并通过传动结构与敲边对准组件衔接，由敲边驱动组件带动敲边对准组件运行。

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