恭喜青岛旭芯互联科技研发有限公司;东旭科技集团有限公司杨锐获国家专利权
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龙图腾网恭喜青岛旭芯互联科技研发有限公司;东旭科技集团有限公司申请的专利研磨液搅拌装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222677840U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420488048.0,技术领域涉及:B01F31/40;该实用新型研磨液搅拌装置是由杨锐;贾钊;刘晓东设计研发完成,并于2024-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨液搅拌装置在说明书摘要公布了:本公开涉及集成电路制造技术领域,尤其提供了一种研磨液搅拌装置,包括:搅拌桶,搅拌桶的顶盖上设置有可转动的转盘;搅拌棒,搅拌棒设置在搅拌桶内,且其顶端连接在转盘上并在转盘的驱动下转动;搅拌叶,搅拌叶沿竖直方向可移动地设置在搅拌棒上以用于对搅拌桶内的研磨液进行搅拌;气缸,气缸设置在转盘上,且其驱动端伸入到搅拌桶内与搅拌叶连接以用于驱动搅拌叶在竖直方向移动。本实用新型通过搅拌棒在搅拌桶内的转动带动搅拌叶的转动,以及搅拌叶在气缸的驱动下沿竖直方向的移动,实现了对搅拌桶内研磨液螺旋搅动和上下搅动,从而可对搅拌桶内的研磨液进行快速充分的搅拌,保证了研磨液的均匀性。
本实用新型研磨液搅拌装置在权利要求书中公布了:1.一种研磨液搅拌装置,其特征在于,包括:搅拌桶1,所述搅拌桶1的顶盖上设置有可转动的转盘2;搅拌棒3,所述搅拌棒3设置在所述搅拌桶1内,且其顶端连接在所述转盘2上并在所述转盘2的驱动下转动;搅拌叶4,所述搅拌叶4沿竖直方向可移动地设置在所述搅拌棒3上以用于对所述搅拌桶1内的研磨液进行搅拌;和气缸5,所述气缸5设置在所述转盘2上,且其驱动端伸入到所述搅拌桶1内与所述搅拌叶4连接以用于驱动所述搅拌叶4在竖直方向移动。
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