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龙图腾网恭喜蓝河科技(绍兴)有限公司申请的专利一种化学气相沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118147743B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410154487.2，技术领域涉及：C30B25/08；该发明授权一种化学气相沉积设备是由张志明;万飞华;徐春阳;邢志刚;张伟;周慧娟设计研发完成，并于2024-02-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种化学气相沉积设备，其包括：反应腔体、承载装置和喷淋装置。喷淋装置包括喷淋主体、加热支撑部和中部加热装置。化学气相沉积设备中，中部加热装置、反应腔体、喷淋主体以及承载装置围成反应空间，喷淋主体开设的若干工艺气体输送通道围绕加热支撑部顶部设于喷淋主体顶部并与与反应空间内相通。反应腔体侧壁设有侧壁加热装置，加热支撑部自喷淋主体顶面贯穿喷淋主体并延伸至承载装置上方且中部加热装置位于反应腔体内并围设于加热支撑部的外侧壁，有利于反应空间内温场均匀性。

本发明授权一种化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括：反应腔室，侧壁设有侧壁加热装置，顶部设置有喷淋装置；承载装置，设置于所述反应腔室内，并沿所述反应腔室的轴向与所述喷淋装置相对；所述喷淋装置包括喷淋主体、加热支撑部和中部加热装置，所述喷淋主体设置于所述反应腔室顶部，所述喷淋主体开设有若干工艺气体输送通道；所述加热支撑部自所述喷淋主体顶面贯穿所述喷淋主体并延伸至所述承载装置上方；所述中部加热装置位于所述反应腔室内并围设于所述加热支撑部的外侧壁；若干所述工艺气体输送通道围绕所述加热支撑部顶部设于所述喷淋主体顶部，并贯穿所述喷淋主体；所述侧壁加热装置外围设有外导流罩以遮蔽所述侧壁加热装置的侧壁，所述外导流罩沿所述反应腔室的周向设置并位于所述侧壁加热装置和所述承载装置之间，所述反应腔室内设有内导流罩，所述内导流罩的侧部围绕所述中部加热装置，所述喷淋主体、所述承载装置、所述内导流罩和所述外导流罩围成反应空间，若干所述工艺气体输送通道与所述反应空间内相通；所述承载装置顶面位于所述反应空间内的区域设有至少一个载片区，每个所述载片区的边缘与所述中部加热装置之间的最小径向距离为所述载片区径向尺寸的5%~40%，每个所述载片区的边缘与所述侧壁加热装置之间的最小径向距离为所述载片区径向尺寸的5%~40%；所述中部加热装置和或所述侧壁加热装置的底面距离所述承载装置顶面的高度为所述反应空间高度的1%~20%；所述中部加热装置包括至少2个中部发热体，至少2个所述中部发热体沿所述加热支撑部的轴向顺次围设于所述加热支撑部外壁，相邻所述中部发热体之间的距离不超过所述反应空间高度的10%；所述侧壁加热装置包括与各所述中部发热体沿所述反应腔室径向一一对应设置的侧壁发热体，相邻所述侧壁发热体之间的距离不超过所述反应空间高度的10%。

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