恭喜先导薄膜材料(安徽)有限公司黄宇彬获国家专利权
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龙图腾网恭喜先导薄膜材料(安徽)有限公司申请的专利一种铬旋转靶材的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116213703B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310249387.3,技术领域涉及:B22F1/00;该发明授权一种铬旋转靶材的制备方法是由黄宇彬;童培云设计研发完成,并于2023-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种铬旋转靶材的制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及溅射靶材技术领域,提供了一种铬旋转靶材的制备方法,包括以下步骤:1在背管的外径面加工螺旋纹路和喷砂处理;2将背管与包套的底面进行焊接,使背管和包套之间设有空腔,把铬粉加入至空腔内,对背管与包套的上表面进行焊接后,依次进行脱气脱水和抽真空;3放入热等静压设备中进行预成型;4再次进行热等静压,提高铬粉致密化;5退火。本发明通过增加了预成型的过程,能够控制整个靶材的变形方向,减少靶材的形变量,提高靶材的致密度。
本发明授权一种铬旋转靶材的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种铬旋转靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)在背管的外径面加工螺旋纹路和喷砂处理;(2)将背管与包套的底面进行焊接,使背管和包套之间设有空腔,把铬粉加入至空腔内,对背管与包套的上表面进行焊接后,依次进行脱气脱水和抽真空;(3)放入热等静压设备中,设置气压20-25MPa,温度635-650℃,处理6-8h进行预成型;(4)在热等静压设备中,保持步骤(3)中的气压,设置温度1100-1300℃,处理6-8h继续进行热等静压;(5)退火;所述铬粉为D50在200-400目的非球形粉。
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