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龙图腾网恭喜常州瑞择微电子科技有限公司申请的专利HMDS处理机构及处理工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115772653B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211484143.5，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权HMDS处理机构及处理工艺是由徐飞;王玲设计研发完成，并于2022-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本HMDS处理机构及处理工艺在说明书摘要公布了：本发明涉及一种HMDS处理机构及处理工艺，HMDS处理机构包括真空腔室和托起机构，所述真空腔室的具有开口侧，所述开口侧配置有用于封闭或打开其的真空闸门；所述托起机构具有用于共同托起被送至所述真空腔室内的掩模板的至少三个指钩，所述指钩具有用于与所述掩模板线接触以支撑所述掩模板的倾斜面和或弧形面。本发明的HMDS处理机构可以以线接触的方式转移掩模板，以避免掩模板被损伤或污染。

本发明授权HMDS处理机构及处理工艺在权利要求书中公布了：1.一种HMDS处理机构，其特征在于，包括：真空腔室1，所述真空腔室1具有开口侧，所述开口侧配置有用于封闭或打开其的真空闸门2；托起机构，所述托起机构具有用于共同托起被送至所述真空腔室1内的掩模板4的至少三个指钩3，所述指钩3具有用于与所述掩模板4线接触以支撑所述掩模板4的倾斜面和或弧形面；所述指钩3具有托起部，所述倾斜面和或所述弧形面配置在所述托起部上，所述托起部具有朝下超出其所托起的掩模板4的超出部31；热板9，所述热板9位于所述真空腔室1内，所述热板9的中间区域用于加热所述掩模板4，所述热板9的四周配置有液冷通道91；其中，托起机构上升，至少三个指钩3通过倾斜面或弧形面与掩模板4的棱边线接触以共同顶起掩模板；托起机构下降，掩模板4到达真空腔室1底部的热板；所述真空腔室1设有多个抽真空口和多个气液进口，抽真空管连通所述多个抽真空口，HMDS供应管和充氮气管并联而成的管组，一端连通所述多个气液进口，另一端连通N2主管路，所述抽真空管、所述HMDS供应管、所述充氮气管和所述N2主管路上分别配置有电磁阀。

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