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恭喜安徽大学李国华获国家专利权

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龙图腾网恭喜安徽大学申请的专利一种基于氢氩混合等离子体温和处理的多层WSe2薄膜光电探测器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115663057B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211335276.6,技术领域涉及:H10F30/22;该发明授权一种基于氢氩混合等离子体温和处理的多层WSe2薄膜光电探测器及其制备方法是由李国华;黄辉;侯蕊;夏超;李晨曦;周祥;陶金龙;黄志祥设计研发完成,并于2022-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于氢氩混合等离子体温和处理的多层WSe2薄膜光电探测器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于氢氩混合等离子体温和处理的多层WSe2薄膜光电探测器及其制备方法,该探测器是利用多层WSe2薄膜实现光探测的双端器件,且多层WSe2薄膜通过氢氩混合等离子体进行处理,以减薄WSe2薄膜的层数、并修复多层WSe2晶体的本征缺陷。本发明的光电探测器兼顾高探测率、快响应速度以及低暗电流等优势,具有超高的探测灵敏度,且可用于探测微弱的光信号。

本发明授权一种基于氢氩混合等离子体温和处理的多层WSe2薄膜光电探测器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于氢氩混合等离子体温和处理的多层WSe2薄膜光电探测器,其特征在于:所述光电探测器是利用多层WSe2薄膜实现光探测的双端器件,且所述多层WSe2薄膜通过氢气和氩气体积比为1:9的氢氩混合等离子体进行处理,以减薄WSe2薄膜的层数、并修复多层WSe2晶体的本征缺陷。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安徽大学,其通讯地址为:230601 安徽省合肥市经济技术开发区九龙路111号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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