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龙图腾网恭喜福建华佳彩有限公司申请的专利一种涂布机光阻供应系统的泵保养质量的检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114993560B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210702351.1，技术领域涉及：G01M3/02；该发明授权一种涂布机光阻供应系统的泵保养质量的检测装置是由林国波;林剑航;谢曙光;张廷育;汪家伟;林志维设计研发完成，并于2022-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种涂布机光阻供应系统的泵保养质量的检测装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种涂布机光阻供应系统的泵保养质量的检测装置，包括：支撑架；泵固定支座，固定于支撑架上，用于固定保养后的泵；马达，固定于支撑架上，用于驱动保养后的泵；第一盛液盘，固定于所述支撑架，并位于所述泵固定支座下方；第一漏液检测装置，固定于第一盛液盘的内腔底面；第一管路模块，用于和保养后的泵的上进液口和上出液口连接；第二管路模块，用于和保养后的泵的下进液口和下出液口连接；PLC，固定于所述支撑架上，并分别和所述马达、第一漏液检测装置、第一管路模块、第二管路模块连接通讯。漏液检测装置可检测泵是否漏液，通过检测马达的负载变化进而得出泵的负载变化是否符合要求，可减少产品不良或报废，且避免耽误生产。

本发明授权一种涂布机光阻供应系统的泵保养质量的检测装置在权利要求书中公布了：1.一种涂布机光阻供应系统的泵保养质量的检测装置，其特征在于：包括：支撑架；泵固定支座，固定于所述支撑架上，用于固定保养后的泵；马达，固定于所述支撑架上，用于驱动保养后的泵；第一盛液盘，固定于所述支撑架，并位于所述泵固定支座下方；第一漏液检测装置，固定于是第一盛液盘的内腔底面；第一管路模块，用于和保养后的泵的上进液口和上出液口连接；第二管路模块，用于和保养后的泵的下进液口和下出液口连接；PLC，固定于所述支撑架上，并分别和所述马达、第一漏液检测装置、第一管路模块、第二管路模块连接通讯；所述第一管路模块包括：第一密封容器，设有第一泄压阀、第一接口、第二接口及第一加液口；所述第一加液口设有第一堵头；所述第一密封容器固定于所述支撑架上；第一气控阀，固定连接于所述支撑架，进口和所述第一接口气密性连接，出口用于和所述上进液口气密性连接；第一电磁阀，固定于所述支撑架上，并和所述第一气控阀的控制口气密性连接，且通信连接于所述PLC；第二气控阀，固定连接于所述支撑架，出口和所述第二接口气密性连接，进口用于和所述上出液口气密性连接；第二电磁阀，固定于所述支撑架上，并和所述第二气控阀的控制口气密性连接，且通信连接于所述PLC；第三电磁阀，固定于所述支撑架上，并和所述第一密封容器气密性连接，且通信连接于所述PLC；第一压力表，连接于所述第一密封容器和第三电磁阀之间，并通信连接于所述PLC；所述第二管路模块包括：第二密封容器，设有第二泄压阀、第三接口及第二加液口；所述第二加液口设有第二堵头；所述第二密封容器固定于所述支撑架上；第三气控阀，固定连接于所述支撑架，进口和所述第三接口气密性连接，出口用于和所述下进液口气密性连接；第四电磁阀，固定于所述支撑架上，并和所述第三气控阀的控制口气密性连接，且通信连接于所述PLC；第四气控阀，固定连接于所述支撑架，出口用于和排出容器连接，进口用于和所述下出液口气密性连接；第五电磁阀，固定于所述支撑架上，并和所述第四气控阀的控制口气密性连接，且通信连接于所述PLC；第六电磁阀，固定于所述支撑架上，并和所述第二密封容器气密性连接，且通信连接于所述PLC；第二压力表，连接于所述第二密封容器和第六电磁阀之间，并通信连接于所述PLC；还包括：第一调压阀，固定于所述支撑架上，出口分别和所述第三电磁阀与第六电磁阀气密性连接，且通信连接于所述PLC；过滤调压阀，固定于所述支撑架上，出口分别气密性地连接于所述第一调压阀的进口、第一电磁阀、第二电磁阀、第四电磁阀及第五电磁阀，且通信连接于PLC；手动阀，固定于所述支撑架上，一端和所述过滤调压阀的进口气密性连接，另一端用于连接气源；还包括：第二盛液盘，固定于所述支撑架；其中，所述第一密封容器和第二密封容器分别固定于所述第二盛液盘内；第二漏液检测装置，固定于是第一盛液盘的内腔底面，并通信连接于所述PLC。

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