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龙图腾网恭喜浙江水晶光电科技股份有限公司申请的专利一种立式镀膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114717531B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210404611.7，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权一种立式镀膜装置是由张睿智;王宇麟;解杰;王文琦;吴信昌;刘风雷设计研发完成，并于2022-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种立式镀膜装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种立式镀膜装置，涉及半导体制备技术领域，包括基座、镀膜机构以及转动设置于基座上的公转机构，在公转机构的周壁设置有载板，在载板上转动设置有用于放置平面基板的自转机构，公转机构的转动平面与自转机构的转动平面垂直，镀膜机构设置于基座且与平面基板对应，以此通过自转能够改变平面基板表面位置点与镀膜机构的距离，从而平衡各位置点距离的差异化，进而减小平面基板表面镀膜的横向散差，提高产品的均匀性和良率。

本发明授权一种立式镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种立式镀膜装置，其特征在于，包括基座、镀膜机构以及转动设置于所述基座上的公转机构，在所述公转机构的周壁设置有载板，在所述载板上转动设置有用于放置平面基板的自转机构，所述公转机构的转动平面与所述自转机构的转动平面垂直，所述镀膜机构设置于所述基座且与所述平面基板对应；所述立式镀膜装置还包括设置于所述基座的修正叶组件，所述修正叶组件位于所述镀膜机构和所述平面基板之间且部分遮盖所述镀膜机构的镀膜区域，用于修正所述平面基板板面的膜层厚度的均匀性；所述修正叶组件包括多个排列于同一平面的指条，多个所述指条排列的平面与所述公转机构的转动平面垂直，每个所述指条的长度沿所述自转机构的转动中心向外依次递增；相邻所述指条之间的长度差值满足：M＝r1：r2，其中，M为相邻所述指条之间的长度差值，r1为一个所述指条在所述平面基板上对应圆周的转动半径，r2为另一个所述指条在所述平面基板上对应圆周的转动半径。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江水晶光电科技股份有限公司，其通讯地址为：318000 浙江省台州市椒江区星星电子产业区A5号(洪家后高桥村)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。