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龙图腾网恭喜中国科学院电工研究所申请的专利基于功率跟踪变频输出的等离子体电源控制方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114628573B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210236737.8，技术领域涉及：H10N30/40；该发明授权基于功率跟踪变频输出的等离子体电源控制方法及系统是由徐梦阳;赵峰;冷凤羽;袁佳俊;徐铖设计研发完成，并于2022-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于功率跟踪变频输出的等离子体电源控制方法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基于功率跟踪变频输出的等离子体电源控制方法及系统，属于自动控制技术领域，该方法采用纯软件算法控制压电陶瓷变压器工作在最佳工作点，频率闭环和功率闭环组成的双闭环控制可随工况实时调节频率及PWM占空比，令等离子体电源维持最大功率持续稳定输出，增强了系统稳定性，并且无需硬件锁相控制，降低了电路复杂度，降低了产品成本。

本发明授权基于功率跟踪变频输出的等离子体电源控制方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基于功率跟踪变频输出的等离子体电源控制方法，其特征在于，所述等离子体电源控制方法包括：采集压电陶瓷变压器在多个采样点不同时刻的输出电压值和输出电流值，根据多个采样点不同时刻的所述输出电压值和所述输出电流值确定压电陶瓷变压器在多个采样点不同时刻的输出电压幅值和输出电流幅值，根据多个采样点不同时刻的所述输出电压幅值和所述输出电流幅值计算压电陶瓷变压器的当前阻抗值；不同时刻为同一开关周期内的不同时间点；判断压电陶瓷变压器的当前扫描频率是否小于设定频率阈值，若是，则将当前扫描频率递增设定值，将递增后的扫描频率作为压电陶瓷变压器的下一开关周期的扫描频率，并重新计算压电陶瓷变压器的当前阻抗值，直至压电陶瓷变压器的当前扫描频率大于等于设定频率阈值；选取压电陶瓷变压器的当前阻抗值中的最大值，确定当前阻抗值中的最大值对应的频率点，并令PWM模块工作在所述频率点；所述当前阻抗值中的最大值对应的频率为反谐振频率点；令PWM模块工作在所述频率点后，获取当前开关周期内压电陶瓷变压器的输出电压值和输出电流值，并根据当前开关周期内的所述输出电压值和所述输出电流值确定阻抗角真实值；将所述阻抗角真实值与阻抗角额定值作差，得到阻抗角差值，根据所述阻抗角差值确定调节频率；获取压电陶瓷变压器的输入电压值，根据所述输入电压值确定输入电压值对应的占空比；根据所述调节频率和所述输入电压值对应的占空比，得到PWM调节信号；所述PWM调节信号包括第一调节信号和第二调节信号；所述第一调节信号用于实现等离子体电源的频率闭环调节，所述第二调节信号用于实现等离子体电源的功率闭环调节。

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